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日本Horiba STEC SEC-E40气体质量流量控制器
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日本Horiba STEC SEC-E40气体质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置，用于宽广范围的流量控制，其控制范围可以从0.2 SCCM到1000 SLM(以N2为标准)。
日本Horiba STEC SEC-E40气体质量流量控制器产品简介：
HORIBA STEC质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，须对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在须对流量进行准确计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微电子加工制造业等。
提供多气体，多量程的解决方案，是销量很多的气体质量流量控制器。高精度，快速响应，轻巧的尺寸。全金属密封，橡胶密封
适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，低成本：产品系列中有力求具有成本优势的型号：SEC-E40MK3/E50MK3 SEC-E60
用于宽广范围的流量控制，其控制范围可以从0.2 SCCM到1000 SLM(以N2为标准)
日本Horiba STEC SEC-E40气体质量流量控制器应用领域：
化工/石化/石油/天然气
医药/生命科学
食品饮料
LED FPD
冶金
电力能源及水处理
造纸
环境保护及控制
汽车
半导体/光伏
微电子
EPC及系统集成商
日本Horiba STEC SEC-E40气体质量流量控制器技术参数：
型号SEC- (质量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (质量流量计)E40E50
适用气体种类*1 | 非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He) | |
气体接触部材质 | SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢 | |
阀门型号 | 非通电时 关闭 | |
标准流量量程 (N2相应F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM |
流量控制范围 | 2?99% F.S. | |
流量测量范围 | 0?99% F.S. | |
响应速度 | 1秒以内(T98) | |
流量精度 | ±1% F.S. | |
直线性 | ±0.5% F.S. | |
反复性 | ±0.2% F.S. | |
工作差压值值 | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) | |
使用压力 | 300kPa(G)以下 | |
耐 压 | 1MPa(G)以下 | |
外部泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | |
使用环境温度 | 5?50℃(精度的确保：15?35℃) | |
流量设定信号 | 0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?99% F.S. | |
流量输出信号 | 0?5VDC(很小负荷电阻2kΩ) | |
驱动电源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
标准接头*2 | 1/4SWL 类型 | |
