技术参数:

水平轴的特征：

Ø 行程长度(Lt)：0. mm to 260 mm

Ø 定位速度：0.02 mm/s 到 200 mm/s

Ø 测量速度：0.02 mm/s 到 10 mm/s; 粗糙度测量 推荐速度0.1 mm/s至0.5 mm/s

Ø X方向取样间距：0.05 μm至30 μm,可调整

Ø 每次测量最多测量点：5200000点

Ø 分辨率：0.8 nm

Ø X轴测量的不确定度：± (0.2+l/1000) μm; l 单位 mm

测头系统特征：

Ø 测头测量范围：26 mm (200 mm测臂)

Ø 分辨率：0.8mm

Ø 测量力：0.5 mN to 30 mN, 可通过软件设置

残余误差 Rz0, Rq0：

Ø vt = 0.1 mm / s时的残余误差：Rz0≤ 20 nm Rq0≤ 1 nm, typical

轮廓：

Ø 距离测量显示误差：± (1.0+l / 150) µm; l 单位 mm

Ø 半径测量显示误差：(R ≤ 10 mm) ± 1 µm (10 mm < R ≤ 300 mm) ± 0.17 + (R/ 12) µm (R > 300 mm) ± (-18 + R / 7) µm