Local Scrubber尾气处理设备

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Local Scrubber尾气处理设备

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格林斯达环保集团是一家集环保咨询、研发设计、加工制造、设备销售、系统集成、智慧运维于一体的废气处理解决方案提供商。 总公司格林斯达(北京)环保科技股份有限公司成立于2009年,是走在世界环保领域前端的国家,2016年全资子公司格林斯达(北京)环保工程有限公司成立,并取得环保专业承包及机电安装专业承包资质,2018年成功挂牌新三板(代码:873139),2019年上海分公司成立,迅速占领华东市场,2021年深圳分公司及生产研发基地安徽格林斯达环保设备有限公司成立,进军华南市场的同时,自主研发及生产智能环保设备。 作为行业内系统化解决方案提供商,格林斯达十多年来专注企业废气处理,同时从事污水处理及污水除臭等相关业务。服务于电子、涂装、医药、化工、食品等多个领域的国内外大中型企业,拥有中芯国际、富士康、京东方、博世力士乐、同仁堂、霍尼韦尔、众兴菌业等众多成功案例。 目前已拥有多个发明、实用新型及计算机软件著作权登记证书,并依托北京石油化工学院的教研实验室及自有设备研发基地,对设计方案及主体设备进行深入研发及改进,逐步迈向智能化的创新型公司,目前正着手以信息化管理平台为入口,建立运行数据系统,智能化为企业量身定做专业的废气处理解决方案,制定维保计划,以高性价比满足企业的环保达标排放要求,为客户提供全生命周期的个性化服务。 公司拥有高精尖技术实力的设计研发团队和经验丰富的项目团队两大支柱,成员主要由北京化工大学、北京工业大学、中国地质大学、江南大学、同济大学、生态环境研究院等环保相关专业人员组成,核心成员德国专业受训,优秀的功能设计,在保证质量的前提下为客户节约成本,强大的一线客户服务团队,对所有工程项目问题均具有快速反应和解决能力,是一支高素质、活力与经验并存的优秀团队。 公司以“智能化全生命周期废气处理解决方案提供商,科技保航”为使命,以“世界环保新时代,缔造百亿市值新企业”为愿景,力争为环保事业带来一股创新之力!

详细信息

产品简介

等离子水洗Local Scrubber设备:去除半导体Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圆工艺制程中使用或产生的PFC温室气体和有毒有害气体,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。

原理

通过直流电源,使工作气体(氮气)进入等离子体反应器,在正负电流的作用下,被电离成等离子体,瞬间产生巨大的火焰,产生的高温火焰将废气分解。

优势

  1. 去除效率高,不需要燃料和热源,耗能低;
  2. 处理高沸点废气,应用范围广;
  3. 高温、反应速度快,
  4. 设备占地面积小、便于安装;

本装置的直流电弧等离子体为非转移型,两电极区域不参与反应,只产生等离子体,产生的火焰温度可达3000度以上。

等离子反应器的MTBF大于1年,反应室内腔的材质耐热和耐腐,具有四个进气口,装置具备冷却区、喷淋区及两级填料除雾区,对PFC温室气体的去除效率>90%。

尾气处理设备尾气处理设备

性能参数

去除效率 CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm
MTBF >6months;
MTTR <1.5hr
材质 内腔PTEE、水箱CPVC
等离子弧使用寿命 >1year
尺寸(mm) 800*800*1850
进气口 NW50*4
耗能 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95%
水量 <4slm

 

订购须知

关于价格:Local Scrubber尾气处理设备属于非标定制产品,价格需要根据企业废气排放量、浓缩倍数等因素决定,具体报价请联系我们。在格林斯达环保集团旗下环保设备厂采购Local Scrubber尾气处理设备设备的企业,一律享受厂家价格。

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