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双束扫描电子显微镜检测,材料微观分析
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工程商广电计量检测集团股份有限公司(简称:广电计量)成立于2002年,是广州无线电集团旗下A股上市企业。广电计量前身是原电子602计量站,经过多年的发展,现已成为一家全国布局、综合性的国有第三方计量检测机构,专注于为客⼾提供计量、检测、认证、评价咨询等“一站式”技术服务,在计量校准、可靠性与环境试验、电磁兼容检测等多个领域的技术能力及业务规模处于高水平。
广电计量坚持以客户为中心,在全国主要经济圈设有60多家分子公司,拥有近6000名优秀员工,搭建了全国一体化计量检测与认证技术公共服务平台。企业服务能力覆盖装备制造、汽车、航空、轨道交通、船舶、通信、电力、电子电器、食品、环保、农业、医疗、石化等领域,可迅速响应各行业产业链上下游客户需求,为客户提供近距离、本地化的专业服务,帮助其提升自身竞争力。
广电计量视公信力为企业生命,技术能力获得了众多国内外机构和组织的认可和,通过了中国合格评定国家认可委员会(CNAS)、中国计量认证(CMA)、农产品质量安全检测机构(CATL)认可,是农业部“三品一标”检测实验室、全国土壤污染详查推荐检测实验室、中国CB实验室。基于遍布全国的服务网络和公信力,广电计量帮助客户稳健开拓本地市场乃至市场。
广电计量坚持创新驱动战略,致力于增强自主创新能力与核心竞争力,推动中国标准和中国制造走向世界。公司建有省市两级院士工作站,搭建了技术研究院、产业研究院等科研平台。在新能源汽车、轨道交通、无线通信等国家重点产业领域,先后主持编写90多项计量测试标准及规程,承担60多项国家、省部级等重点科研项目。
作为一家具有高度社会责任感的国有企业,广电计量以“传递质量信任、让人民生活更美好”为己任,全过程为产品质量安全、食品安全、生态环境安全和公平竞争市场秩序提供专业技术支撑,并在扶危济困、捐资助学、疫情防控等方面以实际行动践行社会责任,争做优秀国企标兵。
在高质量发展的新时代,广电计量将继续秉持科学、公正、准确、快捷、周到的服务理念,不断提升综合管理水平,增强技术服务能力,为“质量强国”建设保驾护航,为保障人民群众的美好生活不懈努力!
服务内容
广电计量的DB-FIB均配备了纳米机械手,气体注入系统(GIS)和能谱EDX,能够满足各种基本和高阶的半导体失效分析需求。还将持续不断地投入先进电子显微分析设备,不断提升和扩充半导体失效分析相关能力,为客户提供细致且全面深入的失效分析解决方案。广电计量能提供一站式双束扫描电子显微镜检测,材料微观分析服务
服务范围
目前DB-FIB被广泛应用于陶瓷材料、高分子、金属材料、生物、半导体、地质学等领域的研究和相关产品检测。
检测标准
广电计量双束扫描电子显微镜检测,材料微观分析服务执行:国家标准(GB/T)、国家汽车行业标准(QC/T)、国际标准(ISO)、以及国内外各大汽车主机厂标准。
测试项目
1、定点截面加工
2、TEM样品成像分析
3、选择性刻蚀或增强刻蚀检验
4、金属材料沉积和绝缘层沉积测试
检测资质
CNAS、CMA
检测周期
常规5-7个工作日
服务背景
着半导体电子器件及集成电路技术的飞速发展,器件及电路结构越来越复杂,这对微电子芯片工艺诊断、失效分析、微纳加工的要求也越来越高。FIB双束扫描电镜所具备的强大的精细加工和微观分析功能,使其广泛应用于微电子设计和制造领域。
FIB双束扫描电镜是指同时具有聚焦离子束(FocusedIonBeam,FIB)和扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope,SEM)功能的仪器。它可以实现SEM实时观测FIB微加工过程的功能,把电子束高空间分辨率和离子束精细加工的优势集于一身。其中,FIB是将液态金属离子源产生的离子束经过加速,再聚焦于样品表面产生二次电子信号形成电子像,或强电流离子束对样品表面刻蚀,进行微纳形貌加工,通常是结合物理溅射和化学气体反应,有选择性的刻蚀或者沉积金属和绝缘层。
我们的优势
广电计量聚焦集成电路失效分析技术,拥有业界专家团队及目前市场上先进的Ga-FIB系列设备,可为客户提供完整的失效分析检测服务,帮助制造商快速准确地定位失效,找到失效根源。同时,我们可针对客⼾的研发需求,提供不同应⽤下的失效分析咨询、协助客户开展实验规划、以及分析测试服务,如配合客户开展NPI阶段验证,在量产阶段(MP)协助客户完成批次性失效分析。