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SAMCO二手等离子刻蚀机RIE-300NR
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青岛佳鼎实验室,坐落于城之向阳地——城阳。自2011年成立之初,便誓将科技之光照耀四方。
十年的时间里,公司因扩展数度搬迁,最后选择接受博士创业园的吸纳并安家落户。与此名交相辉映的是我们30余人的研发团队,也是以博士后为主。这就为我们今后的发展奠定了坚实的基础,使我们在未来的发展中,有底气的大踏步前进。目前,佳鼎实验室已经形成了一站式服务,不仅有实验室分析仪器设备的研发和销售,更有实验室的整体交付。做到了初时毛坯,再见时严谨整洁,随时可以为人类健康贡献自己的力量。
产品服务于各行各业,从科研机构到环境、食品,从医药生物到电子电器。我们从不止步于国内,放眼,我们联合了包括美国赛默飞世尔、日本岛津、在内的多国实验室,并且积累了大量的科研资料,在分析设备的研发领域做了大量的深度工作。
佳鼎实验室坚信以质量为生命,以客户为中心的经营理念,为打造实验室建设规范化而不断奋斗。
SAMCO等离子刻蚀机RIE-300NR是一种理想的反应离子蚀刻系统,适用于加工ø300mm晶圆和多晶圆(ø3"×12,ø4"×8等),具有优异的均匀性。该系统的设计旨在限度地减少工厂空间需求,提高产量,限度地延长正常运行时间,并通过可靠的硬件和便捷的服务降低拥有成本。
加工范围:ø350 mm (ø3" x 12, ø4" x 8, ø12" x 1)
用户友好的触摸屏界面
全自动 "一键式 "操作,可手动操作。
优化的喷淋头可提供工艺气体的均匀性。
减少停留时间的近距离耦合气体输送箱。
对称的疏散设计与TMP相结合,形成了有效的流动。
自动压力控制,可精确控制工艺压力,不受气体流量影响。
干式泵和系统布局便于维护。
去除夹层膜,用于ø300mm的失效分析。
蚀刻Si、SiO2、SiN和聚硅氧烷。
树脂的蚀刻和脱胶
光阻剂的灰化、剥离和除尘。
表面改性(润湿性和粘附性的改善