中频500w电源等离子清洗机 等离子体表面处理仪
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KT-Z5KQX 中频500w电源等离子清洗机 等离子体表面处理仪

型号
KT-Z5KQX
参数
产地:国产 工作气体:氮气 功率:500W可调W 控制方式:自动 设备尺寸:450x450x250mm 射频频率:40kHz 样品腔材质:不锈钢 样品腔容积:5L 仪器种类:等离子体表面处理仪
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详细信息

中频500w电源等离子清洗机

等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,这些离子的活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性

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中频500w电源等离子清洗机KT-Z5KQX


供电电源

AC220V(AC110V可选)

工作电流

整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

射频电源功率

500W可调

射频频率

40kHz

耦合方式

电容耦合

真空度

≤30Pa

腔体容积

5L(内径 152mmX 深度 280mm)

载物规格

125mmX260mm

气体流量

0—50ml/min(其他量程可选)

气体路数

2 路质量流量计+精密流量控制阀

过程控制

自动控制

清洗时间

手动开关

开盖方式

铰链侧开式法兰

真空室温度

小于65°C

外形尺寸

450x450x250mm

冷却方式

强制风冷

标配

KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本,机械泵一台




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产品参数

产地 国产
工作气体 氮气
功率 500W可调W
控制方式 自动
设备尺寸 450x450x250mm
射频频率 40kHz
样品腔材质 不锈钢
样品腔容积 5L
仪器种类 等离子体表面处理仪
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