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TS3500 Probe System TS3500 Probe System 全自动晶圆探针台系统
免费会员
适用于多种晶圆量测应用
• 模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f
• 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
• 可靠性测试 - 精确的压力测试
• *的测试控制软件套件
• 支持温度范围 -60 °C 至 300 °C
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境
• 为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
• 支持飞安低漏电值量测
在建模和新技术开发过程中进行器件表征的常见做法是,通过其精确的IV-CV,1 / f,RF,mmW和负载拉力测量从典型的几个晶片中提取数据。
MPI的WaferWallet ™扩展了TS3500系列自动化功能,而不会影响测量能力。WaferWallet ™设计有五个单独的托盘,可按人体工程学手动装载150、200 或300毫米的“模型”晶圆,可以在不同温度下用多达五个相同的晶片进行全自动测试。