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RGL JOINT日本进口GF40数字质量流量控制器
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RGL JOINT日本进口GF40数字质量流量控制器
用法 | ||
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规格表 | |||||
流速 | 控制器 | 3 sccm F. S ~ 50 slm N2 当量 | |||
仪表 | 3 sccm F. S ~ 50 slm N2 当量 | ||||
准确性 | ±1%SP (35-FS) ±0.35%FS (2-35%FS) | ||||
再现性 | <±0.2%SP | ||||
环境温度范围 | 5-50℃ | ||||
外部泄漏率 | GF40 1×10 -10 Pa・m3 / s He GF80 1×10 -11 Pa・m3 /s He | ||||
输入/输出 | 0-5VDC, 4-20mA, 0-20mA |