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单晶炉用干式螺杆真空泵组
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性能优势 Performance Advantages
· 无油气污染工艺设备,可获得清洁零件表面;
· 被抽气体不会被污染,为期可进行回收利用;
· 无油气、油烟等有害气体排放,有利于环境保护;
· 避免因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障,提高了系统的稳定性;
· 可单独使用,进气压力在1Pa至大气压下均能正常工作,抽气效率高,可大幅度简化真空系统;
· 机组可作为前级泵使用,与罗茨泵、分子泵等组合成多级无油真空机组,以获得更大与更高的真空度;
· 转子间无接触、无磨损,零件损耗小,使用寿命长;
· 泵腔内采用间隙密封,对少量粉尘不敏感;
· 智能控制模式,实时监测设备运行状态,并针对异常情况做出报警;
· 模块化设计,整机体积小,方便移动;
· 可变频运行,节能效果好;
· 采用一体化水冷电机设计,运行噪音低,震动小;
机组内容 Unit Content