日立电子扫描显微镜S-3400N租赁
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S-3400N 日立电子扫描显微镜S-3400N租赁

型号
S-3400N

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深圳市世纪远景电子设备有限公司创始于1998年,经过多年的发展于2015年在东莞市大岭山镇购置自有园区,占地面积20000平方米,建筑面积50000平方米。我公司专注于为电子制造企业提供整套自动化设备设备解决方案,主要经营新旧SMT生产线、光学检测设备、半导体设备的贸易、销售、租赁与维护,为业界经营中古设备厂商之一,我公司享有充足稳定的海内外货源,渠道畅通,拥有专业的售前售后服务团队,经过20余年的沉淀,已在行业内塑造了良好的口碑与度。

详细信息

Hitachi S-3400N

一、日立扫描电子显微镜S­-3400N型的特点
1. S-3400N具有强大的自动功能,包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。
2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。
4. S-3400N II型具有五轴马达台,倾斜角度可达-20度~+90度,样品zui高可达80mm。
5. 分析样品仓可以同时安装EDX , WDX 及EBSD。
6. 真空系统使用涡轮分子泵,洁净、高效。
真空系统使用涡轮分子泵,洁净,高效。
二、日立扫描电子显微镜S­-3400N型的技术指标


项目

描述

SE分辨率

(30kV),高真空模式
10nm (3kV), 高真空模式

BSE分辨率

(30kV),低真空模式

放大倍率

x5 ~ x300,000

加速电压

~ 30 kV

低真空范围

6 ~ 270 Pa

zui大样品尺寸

直径200mm

样品台

I型

II型

X

0 ~ 80mm

0 ~ 100mm

Y

0 ~ 40mm

0 ~ 50mm

Z

5 ~ 35mm

5 ~ 65mm

R

360º

360º

T

-20º~ +90º

-20º ~ +90º

zui大样品高度

35mm (WD=10mm)

80mm (WD=10mm)

驱动类型

手动

五轴马达驱动

灯丝

预对中钨灯丝

物镜光栏

可移动式4孔物镜光栏

枪偏压

固定比例偏压、手动偏压和自动4偏

检测器

二次电子检测器
高灵敏度半导体背散射电子检测器

分析位置

WD=10mm, TOA=35o

控制

鼠标、键盘,手动旋钮

自动调校

自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦消像散、自动亮度对比度

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