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ALICAT 气体质量流量控制器-基本型 11系列
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产品特色
● 低价位产品
● 标配模拟控制方式,数字可选
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需100 ms(可调)
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 单种气体标定,请参考背面气体兼容表
量 程 从0-10SCCM 到 0-20SLPM()
量 程 比 200:1
显示流量:102.4%FS
精 度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-读数 FS-满量程
重复性:± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移:0.02% FS / ℃ / Atm
预热时间:<1s
响应时间:100ms(可调)
标定工况:25?C & 100kPa 绝压
工作温度:-10 ~ +50℃
工作湿度:0-99%,无冷凝
标准工作压力:1MPa 表压
标准极限耐压:1.2MPa 表压
中压选项:2MPa
模拟输入/输出信号:0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
数字输入/输出信号:可选RS-232
供电电压:7-30 Vdc (如选4-20 mA输出,须为15-30 Vdc)
供电电流:250mA
电气接口:DB15
材质:302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝、
黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃
安装方式:对位置无要求
防护等级:IP40
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