日本雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC610

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山东南仪诚实验室设备有限公司位于美丽的泉城济南,成立于2011年,公司是一家专业经营国产、进口实验室设备、分析检测仪器、环境监测仪器、无损检测、测绘仪器、药检仪器、生物医学仪器、煤质石油检测及安检仪器等的有限责任公司。

详细信息

用途 
●提高各种材料的粘接性、表面改质处理 
●灰化、蚀刻处理 
●塑料封装前处理 
●印刷基板镀层前处理 
●LED关联部品处理 
●电子部品清洗 
●光刻胶剥离或表面残留物去除 
●光学、金属、机械部品等精密部件的清洗 
●包含氟化树脂的树脂类产品表面改质 
●FCC对应 
特征 
●600W的小型高输出功率 
●电极可选择1·2·3段(采购时) 
●可处理纵型的试料收纳盒 
●可选择RIE/DP模式(采购时) 
●数据记录器(选配) 
●适配点记忆功能(选配) 
 
型号 PDC610
等离子模式 RIE/DP(固定模式)
电极构造 3段独立平行平板(固定)
高频输出 Max600W
频率 13.56MHz
控制·显示方式 PLC·触摸屏
反应腔尺寸 W350×D270×H300mm
反应腔材质 A5052
反应气体 2系统(Ar、O2)
填充气体 N2或干燥空气
真空泵 油泵(约345L/分)·标配
外形尺寸 W600×D722×H700mm
外装材质 不锈钢
电源 3相,AC200,50/60Hz,15A

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