HFM200高压大流量气体质量流量计

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HFM200高压大流量气体质量流量计

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上海华械自动化设备有限公司自2011年成立以来一直致力于流量、压力的传感与控制,公司以其多年在各个行业累计的技术力量和优秀的售后服务,在中国的新能源(光伏、燃料电池、风能等)、生物医疗、半导体、气体分析、石化、冶金、食品、造纸、水处理、工业炉等领域拥有大量客户,特别擅长为各类成套成套设备提供技术解决方案等,不只是提供产品,更多的是提供技术支持服务。

详细信息

性能参数

HFM200系列质量流量控制器-高压大流量

量程(N2)

1500SLPM

3000SLPM

6000SLPM

15000SLPM

原理

热式

精度

±3.0%FS

±5.0%FS

重复性

±0.25%FS

温度系数

±0.1%FS/℃(15-35℃)

±0.2%FS/℃(15-35℃)

耐压

1.0Mpa、高压选项3.4Mpa

泄漏率

1*10-8pa·m³/s以下

工作温度

5~45℃(精度保证范围15~35℃)

湿度范围

10-90%RH(不能结露)

材质

本体SUS316

密封圈VITON、NBR、PTFE

电气接口

DB15

输出信号

0-5V

供电电压

±15VDC,50mA

管路连接

3寸NPT

4寸法兰

4寸焊接

6寸法兰

6寸焊接

8寸法兰

8寸焊接


电气连接

DB15针脚定义:

针脚/颜色

定义

1-4针脚

5针脚

信号COM

6针脚

0-5V输出

7针脚

电源GND

8针脚

9针脚

电源 -15VDC

10针脚

12针脚

电源 +15VDC

13-15针脚


使用注意

一:进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用,保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)》。

二:用肥皂水对管路进行泄漏检测时,只能将肥皂水喷洒在管路接头上,不能喷在仪表或电气插头上。

三:安装前,请将设备管路进行整体吹扫。

四:需要进行零点漂移清零的时候,确认进/出口没流量没压力下 再操作。

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