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蔡司扫描电镜ORION NanoFab离子束扫描电子显微镜
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北京一测精密仪器有限公司是测量仪器德国蔡司/ZEISS代理商，北京一测秉着专业的技术和完善的服务理念，集聚一批优秀的服务团队，我们的愿景是：把好的仪器带到中国来，为推动中国科技的发展架起桥梁。 一测服务行业包括：电子工程、模具、五金配件、塑胶、汽车配件、医疗、光学、航空等制造业。主要产品有:蔡司三坐标测量机、蔡司光学复合式三坐标测量机、蔡司在线扫描三坐标测量机、蔡司工业CT、蔡司显微镜、蔡司3D拍照扫描仪、蔡司CALYPSO测量软件、蔡司测头系统。
详细信息
- 快速亚 10 nm 结构加工
使用氖和氦离子束加工有超高精度要求的精细亚 10 纳米结构。无论是使用溅射、气体辅助切割、气体辅助沉积或是光刻技术刻蚀材料，在亚 10nm 加工应用中 ORION NanoFab 均表现不凡。 - 集三种离子束显微技术于一体
使用镓聚焦离子束刻蚀大块材料。利用精准的氖离子束快速完成微加工，利用氦离子束加工精细的亚 10 纳米级结构。利用氦和氖离子还可以防止传统 FIB 镓粒子注入引起的基体材料性质变化。 - 高分辨率成像
借助 0.5 纳米成像分辨率，它可在同一台加工仪器中实现样品的高分辨率成像。与使用场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）成像相比，其可获得 5 至 10 倍的景深并和更丰富的图像细节。
蔡司扫描电镜ORION NanoFab离子束扫描电子显微镜拥有纳米加工和成像引擎 - 配有集成软、硬件的控制系统。纳米图形发生器（NPVE）为每个 NanoFab 镜筒提供了一台 16 位扫描图形发生器，以及支持实时图案加工和成像的双信号采集硬件。通过图形化用户界面（GUI）控制离子束：可创建一系列可编辑的形状，如矩形、梯形、多边线、直线、折线、椭圆及点。然后，对这些形状进行矢量切割，并通过剂量和加工参数的调节进行的过程控制。
