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CS300型质量流量控制器
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欢迎您浏览我们的网站，我们长期以来致力于流体产品的生产和服务，为了您更好的了解我们的公司产品与服务，我们首先为您介绍我们的公司。
北京盛权瑞腾科技有限公司从事科研院所、石油化工、能源环保、生命科学、质量检测、医药卫生、 食品安全、光伏、电子等相关领域的流体产品与服务的系统集成业务的综合性服务商。 从事工业气体、高纯气体、特种工艺气体等流体管路系统控制的技术咨询、整体规划、系统设计、项目现场安装、系统整体检测及配合客户调试运行的整套工程技术服务。我们拥有多年实验室气路工程、非标装置、配气系统、气路控制系统的设计和安装经验，拥有一支完整的从专业的设计到施工的工程师队伍和专业的施工设备。
工程技术中心可提供的服务项目包括：
■ 实验室气路设计、安装 ■ 集中供气系统与超高纯气体管路工程 ■ 气路控制系统自动化开发与应用
■ 红外在线检测监测系统 ■ 高精度配气系统 ■ 催化剂评价微反色谱装置/系统
■特气柜系统 ■ 科研项目原理样机的辅助设计与加工 ■ 非标装置定制 ■ 工程安装与OEM代工服务
服务理念与客户类型
■ 服务专业化
公司拥有多名从事研究分析仪器、石化工艺、应用化学及工业自动化方面的技术人员与专家顾问
■ 服务个性化
可严格按照客户的实验原理及工艺要求，为客户提供成套产品服务
■ 服务一站式
免费为客户提供专业技术咨询服务，满足客户对实验仪器、配件、试剂、配套软件、 实验室整体设计，实验家具等相关产品的需求与
技术咨询服务
■ 服务于高校实验室
与高等院校实验室积极互动起来，为客户提供产品咨询，技术交流，建立良好的伙伴关系
■ 服务于企事业单位和高校科研院所
协助完成相关成套系统、原理样机的设计及工艺方案，提供优良的技术产品服务
公司遵循"服务至上，客户为本"的经营理念，以高品质的产品与服务，与您共同携手创造美好未来造美好未来！
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详细信息
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
CS300系列产品特点：
1. 与气体接触的零件表面经过电化学抛光处理，粗糙度达到Ra 5μinch。
2. 与气体接触的零件表面化学成分：Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃）。
3. 具有压力补偿功能。
4. 支持1.125,1.5英寸W，C，B型IGS气路系统
类号 | CS310C | CS320C | ||
阀类型 | Normally Closed or Normally Open | No Valve | Normally Closed or Normally Open | No Valve |
流量规格(N2) | (0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM | |||
准确度 | ±1% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) | ±0.80% S.P. (≥30% F.S.) ±0.24% F.S. (＜30% F.S.) | ||
线性 | ±0.5% F.S. | |||
重复精度 | ±0.2% F.S. | |||
响应时间 | ≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional） | |||
工作压差范围 | (0.05～0.35)Mpa(≤10SLM) (0.1～0.35)MPa (＞10SLM) | ＜0.02 MPa | (0.05～0.35)Mpa(≤10SLM) (0.1～0.35)MPa (＞10SLM) | ＜0.02 MPa |
温度系数 | Zero: ≤±0.02% F.S./℃； Span: ≤±0.05% F.S./℃ | |||
耐压 | 3MPa | |||
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |||
密封材料 | Metal | |||
工作环境温度 | （0～50）℃ | |||
输入信号 | Digital:RS485 Or DeviceNet Analog:(0～5)VDC | No | Digital:RS485 Or DeviceNet Analog:(0～5)VDC | No |
输出信号 | Digital:RS485 Or DeviceNet Analog:(0～5)VDC | |||
零漂 | ＜0.6%F.S. per year without autozero | |||
电源 | ±11～±16 VDC (双极) 或 +11～+28 VDC (单极) | |||
表面化学成分 | Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 Angstroms | |||
表面粗糙度 | Ra 5μinch | |||
标准接头形式 | VCR1/4阳接头； 1.125″C型密封接头 1.125″W型密封接头 | 1.5″B型密封接头 1.5″C型密封接头 1.5″W型密封接头 | ||
电源接头形式 | D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNet male | |||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg |
