宁波ULVAC爱发科NRL90A干式真空泵维修保养

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宁波ULVAC爱发科NRL90A干式真空泵维修保养

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昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、 安装及维修领域。本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支专业的IT研发 人员和全面的销售网络,所经营的产品国内外,现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系,本公司产品以质量优良、操作简单、性价比高及周到的售后服务等广受市场好评,使得公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础。公司主要经营:真空泵、直空泵油、真空计、检漏仪、流量计、镀膜机、真空零配件、镀膜机耗材等,以及实验室仪器,实验室耗材和其他工控产品。产品广泛适用于:电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、医药、电子、电、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。售后服务:公司拥有专业的维修技术人员及*的检测设备,并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务;服务承诺:凡在本公司所购真空设备,均享有一年免费保修期, 并终身提供技术支持。公司坚持“以诚为本、信营至上”为宗旨,不断创新改进,完善售后服务网络。我们以秀的产品, *的质量,惠的价格,质的服务,愿同各界朋友互相合作,开拓美好的未来。

详细信息

 宁波爱发科NRL90A干式真空泵维修保养


    特长
  1. NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。


  2. 低噪音、低振动


  3. 优良的耐腐蚀性


  4. 标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。


  5. 选购件


  6. 可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。



  7. 用途
  8. •  活性气体(CVD、刻蚀等)。


  9. •  排出非活性气体(溅射镀膜、   蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。


  10. •  用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)


  11. •  作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)。


  12. •  冷冻干燥等水蒸气排气。

技术参数

* 1  极限压力是氮气(密封气体)在5.0 SLM时的值。

* 2  无结露。

* 3  用调节阀所调整的压力表的值。

* 4  氮气(密封气体)流量5.0 SLM是固定值。

外形尺寸图


抽气速率曲线

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