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lintec低压差质量流量控制器MC-3000S 便携式超声波流量计
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详细信息
lintec低压差质量流量控制器MC-3000S
低压差质量流量控制器，最小工作压差为800Pa。
专有的环境温度补偿型传感器低压降规格和 ±1% F.S 的精度降低了压降。
压电陶瓷执行器阀，可在低压差下实现精确的流量控制和稳定性。
特点
低压差 （800Pa）
工作温度 5~50°C
金属密封件
清洁（保证颗粒）
环境温度补偿传感器
RS-485 通信
选择
微流 F.S.
使用示例
低蒸气压气体温度下的流量控制
MC-3000S是一款低压质量流量控制器，如果二次侧通过其专有的低压降结构进行抽真空，即使在室温下也能对H2O等液体原料进行流量控制。 推荐使用ITO溅射方法，该方法将少量水蒸气发送到真空室。 此外，即使在室温下，即使是低蒸气压的固体原料（如 XeF2），也可以进行流量控制。
减压罐船（SDS集装箱）的流量控制
离子注入机中使用AsH3和PH3等特殊材料气体，并且通常使用安全输送源（SDS）容器来安全稳定地供应它们。 SDS填充的罐压低于大气压，需要能够在低压差下控制流量的MFC。 MC-3000S 具有的低压降结构，可在低至 800 Pa（6 Torr）的压差下实现流量控制。
lintec低压差质量流量控制器MC-3000S
规格
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 低标准 | 最高 F.S. | 密封 |
| 5~50°C | 800帕 | 133kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 2SCCM | 30SCCM | 金 |
* 规格表为具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过选项进行更改。
