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日本理学全反射 X 射线荧光光谱仪TXRF 3760-华普通用
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代理商 深圳华普通用科技有限公司(简称华普通用)是一家专业从事仪器仪表代理的综合性服务公司。德国斯派克:www.hpge.com.cn公司前身于2004年成立。目前已经成为国内较大的仪器经销商,系统集成商和综合服务商之一。
公司业务分为电子测试仪器部,化学分析仪器部,材料分析仪器部,电磁兼容测试仪器部以及芯片烧录设备部。华普通用与美国力科(LECORY)、美国吉时利(KEITHLEY)、美国科学仪器公司STI、美国SerialTek、德国斯派克(SPECTRO)、美国SANBlaze、瑞士特测(TESEQ) 、中国台湾崇贸(SystemGeneral) 、以色列HERMON Labs、西班牙ALBEDOTelecom SL、日本TAKAYA等数十家*仪器制造商在中国区有着广泛的合作。 *致力于为电子信息、教育科研、电力石化、医药卫生、金属塑胶等领域提供分析测试仪器和系统集成。2013年营业额超过1亿元人民币。
公司总部位于深圳市南山区科技园,在北京、上海、香港、广州、苏州、厦门等地设有分支机构,员工人数50多人。通过与分销伙伴的合作,拥有覆盖全国的服务网络。华普通用拥有一批技术型的销售工程师和专业的售后队伍,在多年的发展中积累了大量的案例和经验,能够给客户提供迅速、完善、专业的服务。长风破浪会有时,直挂云帆济沧海,华普通用将通过不懈的努力,继续专注于为客户提供分析测试解决方案,和客户一起成功!
全反射 X 射线荧光光谱仪TXRF 3760分析可以测量所有晶圆厂工艺中的污染,包括清洁、光刻、蚀刻、灰化、薄膜等。全反射 X 射线荧光光谱仪TXRF 3760 可以使用单目标 3 光束 X 射线系统和无液氮探测器系统测量从钠到 U 的元素。
全反射 X 射线荧光光谱仪TXRF 3760 包括理学获得的 XYθ 样品台系统、真空晶圆机器人传输系统和新的用户友好型窗口软件。所有这些都有助于提高吞吐量、更高的准确度和精度,以及简化的日常操作。
可选的扫描TXRF软件可以绘制晶圆表面上的污染物分布图,以识别可以更高精度自动重新测量的“热点”。可选的 ZEE-TXRF 功能克服了原始 TXRF 设计历 15 mm 边缘排除的问题,使测量能够以零边缘排除进行。
易于操作,分析结果快速
接受 200 mm 及更小的晶圆
紧凑的设计,占地面积
大功率旋转阳极源
多种分析元素(Na~U)
轻元素灵敏度(针对钠、镁和铝)
应用于裸硅和非硅基板
从缺陷检测工具导入测量坐标以进行后续分析
产品名称 | TXRF 3760 |
技术 | 全反射 X 射线荧光 (TXRF) |
效益 | 从Na到U的快速元素分析,以测量所有晶圆厂工艺中的晶圆污染 |
科技 | 带无液氮探测器的 3 光束 TXRF 系统 |
核心属性 | 高达 200 mm 的晶圆、XYθ 样品台系统、真空晶圆机器人传输系统、ECS/GEM 通信软件 |
核心选项 | 扫描TXRF软件可以绘制晶圆表面上的污染物分布图,以识别“热点”。ZEE-TXRF 功能可实现零边缘排除的测量 |
计算机 | 内置电脑,微软视窗操作系统® |
核心尺寸 | 1000 (宽) x 1760 (高) x 948 (深) 毫米 |
质量 | 100 千克(核心单元) |
电源要求 | 3Ø, 200 VAC 50/60 Hz, 100 A |