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日本lintec小型燃气加热器 HX-0020 喷头
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日本lintec小型燃气加热器 HX-0020
紧凑型紧凑型气体加热,最高加热温度为200°C。
设计紧凑,面之间 160 mm ×宽 55 mm
加热 N2 气体 10SLM 至 200°C
能够加热不腐蚀气体接触材料的气体(SUS316L)
也可在真空和加压下使用
液化气体通常用于ALD和CVD等真空沉积,但用室温气体吹扫会使温度冷却并冷凝,相反,吹扫可能不足。 这就是热吹扫的用武之地。 紧凑型气体加热器 (HX-0020) 的占地面积与 MFC 没有太大区别,可以加热到 200°C,使气体加热接近使用点,使其成为 ALD 和 CVD 等真空沉积设备热吹扫的理想选择。
日本lintec小型燃气加热器 HX-0020
流量(N2当量) | 压降 (N2) | 耐压 (G) | 工作温度 | 气体接触部件材料 | |
规范 | 10SLM | 14kPa | 1兆帕 | 200°C | 不锈钢316L |
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