超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

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超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

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元中锐科集成检测技术有限公司是工业检测技术和系统集成商。是日本奥林巴斯(OLYMPUS)株式会社工业显微镜,半导体检查系统,工业内窥镜的代理商。致力于为工业制造和科研领域用户提供显微分析,图像分析,缺陷识别和检验, 无损探查, 品质管理, 计量,过程控制等专业检测设备,依托强有力的技术资源及完善专业的售后服务与维修体系,向用户提供专业成熟细致的服务及全面地解决方案。服务对象涵盖科研院校,航空航天,冶金,电力,地质,石油石化等材料研究行业,机械及微机械领域,以及电子领域,光电显示制造,电子零件制造, 半导体,液晶及MEMS,NANO等诸多领域,为用户提供的仪器和完善的解决方案,为用户工作提供有力的技术支持。我们的技术:可见光,激光,深紫外,红外,偏光,扫描,共聚焦等多种显微术,精密量测技术,全自动显微观察及测量,数字图象处理和识别,自动控制等.我们的宗旨:秉承 创新Innovation; 技术 Technology;集成 Integration;服务 Service的理念,坚持专业周到细致的服务,不断努力创新,更好地创造顾客价值和公司价值,成为工业检测和质量及过程控制方面的优秀的公司之一。

详细信息

  • 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2

  • 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的性能
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空样品仓

  • 运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2

极低着陆电压下高分辨观察

极低着陆电压下高分辨观察
样品:金颗粒
着陆电压:10 V

超高分辨观察

超高分辨观察
样品:Pt催化剂
加速电压:30 kV

低加速电压下高分辨EDX分析

低加速电压下高分辨EDX分析
样品:Sn球
着陆电压:1.5 kV

 
  • *2

  • Regulus8240/8230/8220


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