* 为区分交流电源电缆，在货号后加上以下后缀:A 适于 UL/CSA, C 适于中国台湾地区, D 适于 CEE, DC 适于 CCC, E 适于 BS, K 适于KC, 无后缀适于 JIS/100V

技术参数
X1 轴
测量范围: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 线性编码器
驱动速度: 0 - 80mm/s 外加手动
测量速度: 0.02 - 5mm/s
直线度: 0.8μm / 100mm, 2μm / 200mm
          * 以X1 轴为水平方向上
指示精度 (20ºC 时): ±(0.8+0.01L)μm (CV-4500S4, H4, W4)
                             ±(0.8+0.02L)μm (CV-4500S8, H8, W8)
                             * L = 驱动长度 (mm)
倾斜范围: ±45º
Z2 轴 (立柱)
垂直移动: 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
检测方法: ABSOLUTE 线性编码器
驱动速度: 0 - 30mm/s 外加手动
Z1 轴 (检出器)
测量范围: 60mm(± 30mm 水平位置上)
分辨率: 0.02μm
检测方法: 弧形光栅尺
指示精度 (20ºC 时): ±(0.8+I2HI/100)μm
                             * H: 为水平位置上的测量高度
测针方向: 向上／向下
测力: 10, 20, 30, 40, 50mN(数据处理程序)
跟踪角度: 向上: 77º, 向下: 83º(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)
基座尺寸 (W x H): 600 x 450mm 或 1000 x 450mm
基座材质: 花岗岩
重量
主机: 140kg (S4), 150kg (H4), 220kg (W4)
        140kg (S8), 150kg (H8), 220kg (W8)
电源: 100 - 120V AC ±10%,200 - 240V AC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (限主机)

*产品信息仅供参考，型号和技术参数生产厂家有可能随时更改