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SYSC-100A 高精度程控匀胶机
- 型号
- SYSC-100A
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详细信息
高精度程控匀胶机型号：SYSC-100A
一. 产品应用
SYSC-100A高精度程控匀胶机（Spin Coater），又称为旋转涂膜仪，是一代旋转涂膜设备。具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺，例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。
二. 产品特点
1. 旋转电机采用**为匀胶机设计的精密高速伺服电机。
2. 优异的旋转加速性能，Z大旋转加速度可达40000rpm/s（有负载的真实加速度）。
3. 两项安全互锁功能：
(1) 匀胶腔体具有开启、关闭的检测功能，确保腔体关闭后才可启动，防止匀胶过程中飞片造**身伤害；
(2) 真空吸片具有真空检测功能，若发生真空泄漏，基片无法吸附牢固，则立即停止运行。
4. 机身外壳采用SUS304不锈钢制作，防腐蚀、不生锈、易清洁。
5. 匀胶腔体采用德国劳士领NPP材料，经CNC一体加工成型。接储脱离基片的胶液，避免进入真空管路和设备内部。耐腐蚀、易清洁。
6. 旋转吸片台采用德国劳士领PEEK材料，经CNC一体加工成型。耐高温、耐腐蚀、不变形。
7. 匀胶过程全自动分段程序控制。整个匀胶过程Z多可分十段进行，每段的加速时间、旋转速度、匀胶时间均可精密控制、连续可调。可储存50组工艺程序，随时调用。
8. 7英寸液晶触摸屏使控制更方便；运行状态及各项参数实时显示，更直观了解匀胶进程；
9. 真空泵的开启与关闭均为自动程序控制，无需手动操作。
10. 旋转前增加预吸片步骤，“预吸片时间”Z多为99s，确保基片牢固吸附于旋转台后再进行旋转涂膜。匀胶完成后增加解吸片步骤，“解吸片时间”Z多为99s，确保安全停止后再切断真空，释放基片，防止涂膜后的基片滑落，对膜层造成损伤。
11. 标配无油真空泵，低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台，防止飞片。
三. 技术参数
产品型号SYSC-100A
可镀膜基片尺寸Ø10～100mm
旋转速度10～8000rpm
转速分辨率1rpm
速度精度＜0.02%
旋涂加速度*0～40000rpm/s
每段加速时间999.9s
每段旋涂时间9999.9s
时间分辨率0.1s
预吸片时间99s
解吸片时间99s
**大旋涂加速度为有负载条件下(使用≤Ø50mm基片)的真实加速度.
一. 产品应用
SYSC-100A高精度程控匀胶机（Spin Coater），又称为旋转涂膜仪，是一代旋转涂膜设备。具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺，例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。
二. 产品特点
1. 旋转电机采用**为匀胶机设计的精密高速伺服电机。
2. 优异的旋转加速性能，Z大旋转加速度可达40000rpm/s（有负载的真实加速度）。
3. 两项安全互锁功能：
(1) 匀胶腔体具有开启、关闭的检测功能，确保腔体关闭后才可启动，防止匀胶过程中飞片造**身伤害；
(2) 真空吸片具有真空检测功能，若发生真空泄漏，基片无法吸附牢固，则立即停止运行。
4. 机身外壳采用SUS304不锈钢制作，防腐蚀、不生锈、易清洁。
5. 匀胶腔体采用德国劳士领NPP材料，经CNC一体加工成型。接储脱离基片的胶液，避免进入真空管路和设备内部。耐腐蚀、易清洁。
6. 旋转吸片台采用德国劳士领PEEK材料，经CNC一体加工成型。耐高温、耐腐蚀、不变形。
7. 匀胶过程全自动分段程序控制。整个匀胶过程Z多可分十段进行，每段的加速时间、旋转速度、匀胶时间均可精密控制、连续可调。可储存50组工艺程序，随时调用。
8. 7英寸液晶触摸屏使控制更方便；运行状态及各项参数实时显示，更直观了解匀胶进程；
9. 真空泵的开启与关闭均为自动程序控制，无需手动操作。
10. 旋转前增加预吸片步骤，“预吸片时间”Z多为99s，确保基片牢固吸附于旋转台后再进行旋转涂膜。匀胶完成后增加解吸片步骤，“解吸片时间”Z多为99s，确保安全停止后再切断真空，释放基片，防止涂膜后的基片滑落，对膜层造成损伤。
11. 标配无油真空泵，低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台，防止飞片。
三. 技术参数
产品型号SYSC-100A
可镀膜基片尺寸Ø10～100mm
旋转速度10～8000rpm
转速分辨率1rpm
速度精度＜0.02%
旋涂加速度*0～40000rpm/s
每段加速时间999.9s
每段旋涂时间9999.9s
时间分辨率0.1s
预吸片时间99s
解吸片时间99s
**大旋涂加速度为有负载条件下(使用≤Ø50mm基片)的真实加速度.
