JY-S100离子溅射仪(喷金仪)

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JY-S100离子溅射仪(喷金仪)

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    广州竞赢化工科技有限公司是一家综合性的商贸企业,集实验设备经销、实验室组建策划于一体。是美国Ted Pella公司和日本DOSAKA中国总代理。公司经营的商品主要包括:美国Ted Pella公司微波快速组织处理系统、DOSAKA切片机、CRESSINTON镀膜仪、pelco电镜耗材、英国AquilaSPR-NAVI公司等公司的LB膜机及界表征仪器、超纯水系统、e-box电子防潮柜、生化仪器,检测仪器、环保仪器、化学试剂、实验室耗材等,这些设备均用于实验室。

目前,竞赢公司与国内外数百家实验仪器生产厂家有着良好的业务联系和协作关系,客户涉及高校、科研院所、企业、政府部门等多个领域。凭借着优异的产品和服务为广、广东医附院、复旦大学、华南理工大学、中山大学、电子五所、昆明*总院、哈尔滨工业大学、贵州大学等等国内各地域客户建立起良好的供销关系。

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详细信息

JY-S100离子溅射仪是一款结构紧凑的桌上小型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性

l 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

l 操作容易快捷,控制的参数包括放气以及氩气换气控制。

l 数字化的喷镀电流控制不受样品室内气压影响,可得到一致的镀膜速率和高质量的镀膜效果。

l 可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au 靶为标配),靶材更换快速方便。

技术参数


溅射系统

样品仓尺寸 120 x120mm

靶材

Au 靶为标配,可选 Pt,直径 57mm x 0.1mm

标准样品台

可以装载 12 SEM 样品座,高度可调范围为 60mm

※旋转倾斜样品台(选配

旋转速度:0~60rpm 连续可调,倾斜角度:-90°~ 90°连续可调;

不锈钢腔体:直径 120mm X 75mm

观察窗:直径 120mm X 45mm

标配旋转台直径 40mm,可放 4 个标准样品台,其它规格可订做;具有双重锁紧装置,可确保样品在旋转倾斜时不会松动脱落。

溅射电流

微处理器控制,安全互锁,可调,电流 5~30mA,程序化数字控制

计量表

真空: Atm - 1*10-3mbar,电流:0~99mA

控制方法

带有“开始”“暂停”按钮的微处理控制器(1999s),自动抽气、溅射、关机后自动放气。

真空系统

抽气速率

133L/MIN

极限真空

10-4 mbar

噪音

56dB

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