X射线光电子能谱仪（XPS）
    ESCA+高性能X射线光电子能谱仪
   ESCA+的设计结合了简便的操作、高通量和*的ESCA技术性能。灵活的“双束”离子源和电子源，使得用户可以很轻松的进行复杂的电荷中和以及深度剖析等分析。

   Omicron产品所的模块化设计使系统扩展和升级非常简便。可选项包括原位升降温、AES、UPS、SAM、样品预处理……，即使是常规XPS系统无法实现的要求，例如TPD（程序升温脱附实验）、高压XPS、高压催化和复杂样品制备等，都可以完整的集成到ESCA+系统中。结合了灵活性、高性能和*的控制系统，使ESCA+是任何实验室进行ESCA研究的理想选择。
 ESCA+特点：
 •优秀的能量分辨率与计数率 
 •微区XPS分析和成像XPS功能 
 •高效的“双束”电荷中和技术 
 •针对快速深度剖析、角分辨XPS进行优化 
 •全自动的系统控制软件 
 •强大的分析软件 
 •灵活的配置和诸多的选项

       
Si 2p 3/2和2p 1/2峰，半高宽FWHM达到0.37 eV Si样品的角分辨XPS结果    复杂陶瓷样品中各种元素的定量分析
    NanoESCA

   全新的NanoESCA系统是专门针对成像XPS分析（iXPS）设计的系统。其特点包括采用了具有大接收角的光发射电子显微镜（PEEM）的电子透镜系统和含误差修正的能量分析器等特殊设计。后者结合了两个半球形电子能量分析器，该设计已经申请，并获得2007年国际R&D 100产品研发大奖。 系统不但可以通过对动能高达1.6 keV的光电子进行能量筛选，从而获得样品表面化学组成差异的图像（iXPS模式），亦可以在PEEM模式中获得空间分辨率达40 nm的二次电子像。
系统的另一个显著特征是既可以配合实验室光源（Al Ka，He I等），也可以与同步辐射光源相结合。
  目前在Bessy II上所获得的iXPS模式水平方向分辨率已达到100 nm水平。NanoESCA的纳米级空间分辨率远远于目前扫描ESCA 3-10微米的水平分辨率，而与实验室单色X光源相结合所获得的水平分辨率也已达到650nm。
  
GaAs-AlGaAs异质结剖面的成像XPS图，其中可以分辨出的最细的线条宽度小于100 nm

 采用Al K a光源得到的SiO2表面Au的Chessy样品的Au 4f峰成像XPS结果，图中Au方格的宽度为1μm。

 Al0.98Sn0.02多晶样品中Al 2p能级的成像XPS图像。40μm x 40μm