激光位移传感器

激光位移传感器CD5系列

半导体行业特别是半导体的核心晶圆片的生产，要求其厚度的平整精度以及切割的精度达到微米级以下，高精度激光测距（位移）传感器CD5系列在此背景下研发成功。

高精度激光测距（位移）传感器CD5分辨率高达0.37um，线性精度高达0.05% F.S.。

激光束穿过依靠音叉快速上下振动的物镜聚集在目标表面。 从目标表面反射的光束汇集在小孔处，随后进入感光元件。 

激光测距（位移）传感器通过测量物镜在感光时的确切位置精确测出与目标表面的距离，不会受到目标材质、颜色或角度的影响。

 激光位移传感器技术参数

 激光位移传感器使用特性

一：数字亚像素处理

激光位移传感器CD5系列采用数字亚像素处理技术，可以将1个像素细分成65536个亚像素（256×256），使其线性精度比传统位移传感器提高了2倍以上。

高精度线性图像传感器, CD5的感光元器件采用高精度的线性图像传感器。与传统位移传感器相比，精度提高5倍，速度提高10倍。

高精度感光度修正，高分辨率的电子快门速度为采样周期的1/485，因此有助于确保稳定的受光量峰值状态，自动优化受光量，即使是不稳定表面亦能保持稳定检测。

高速运算处理单元，实现高速度、高精度运算测量结，内置CD5专用的高速运算处理单元。从线性图像传感器获取的测量结果进行迅速的修正失真/优化/判定等处理，从而实现高速及高精度的检测。

独自算法，检测半透明或表面不平的物体时会产生多重反射光，从而影响到受光波形的精确识别。Otpex-FA采用独自算法解决这个问题。

正反射型激光位移传感器CD5-L(W)25A/CD5-(W)30A/CD5-(W)85无需连接控制器亦可独自测量玻璃的表面/背面，并可测量其厚度。

宽光斑型有效检测粗糙表面，获得较稳定的高精度线性精度。

即使光束重叠也不导致测量误差，防相互干扰功能即使不同感应头的光束发生重叠，或2台感应头安装位置较近时，也可保持稳定的高精度测量。防相互干扰功能:max.2台。

不仅CD5的感应头本体防护等级达到IP67，而且扩展连接线连接器的防护等级也达到IP67，无需再做任何其他的防水措施。

 激光位移传感器实例应用

分辨率提高5倍

CD5系列的分辨率比普通位移传感器高5倍，实现更高精度的测量。

同等级产品中精度

CD5系列实现同等级产品中测量精度的检测物体的高度/厚度。

线性精度

通过线性精度的CD5-(W)85（±0.05%F.S.）检测物体的宽度，实现高精度、高稳定性的测量。

超长检测距离型

CD5-2000长距离检测金属滚轴的位置，实现工业自动化行业内最长距离的检测。

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