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5850EM | 5851EM系列金属密封热质量流量控制器
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意大利德尔特（DeltaOHM)公司专业致力于精密电子仪器仪表的生产与研发已经超过30多年，产品测量范围涉及：温度、湿度、二氧化碳、压力、风速、太阳辐射、照度、雨量、噪音、空气质量IAQ、水质分析等。产品类型分成手持式和传感器/变送器，DeltaOHM只生产高精度高稳定性的仪表，不做粗制滥造。现在已拥有意大利SIT实验室校准中心，和气象实验室。 目前意大利德尔特的气象实验室以下检测项目被公众认可：温度、声学、辐射照度、压力、湿度、风速等。意大利德尔特的目标是保持行业高标准，为此，公司建立了SIT Centre n.124校准中心，中心配置了实验室装备。
详细信息
5850EM / 5851EM系列金属密封热质量流量控制器
经验证长期稳定，超纯洁净体系，适用于高压应用
5850EM 系列金属密封热质量流量控制器的性能基于广泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC，可在洁净环境下测量和控制高压气体流量并具有经验证的稳定性。该产品的金属密封结构和电镀抛光接液表面可确保出色的流量完整性并有助于整体提升过程效率，这得益于设备无需对气体压力进行连续监测和重新调节即可保证流量稳定。
特点
- 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%
- 能够根据命令变化在 3 秒内完成设置并且过冲/下冲可忽略不计
- 流量范围宽 – 3 sccm 至高达 30,000 slpm
- 高压额定值 – 高达 1,500 psi
- 可选增强型内部后处理工艺 – 5µ 英寸 Ra（平均值）
- 可拆卸式流量传感器
- 不受安装角度影响
- 其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容
- TTL 兼容型”阀关闭”和吹扫功能
优势
- 全金属流路可确保气体纯度并降低泄漏风险
- 在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的长期稳定性和准确性
- 由于性能可靠，因此投资回报率出众
- 采用可拆卸式流量传感器，因此无需对气压进行连续监测和重新调节
- 由于模拟量仅为输入/输出，因此易于安装和保养
应用
- 光端机
- LED/MOCVD
- 半导体
- 太阳能
