扫描电子显微镜             SU3800/SU3900

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扫描电子显微镜 SU3800/SU3900

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上海西努光学科技有限公司,以下简称西努光学。西努光学成立于2003年,始终致力于“以光学为核心,为用户提供检测解决方案”为方针,推动智能检测装备的转型升级,将显微光学成像以及图像算法应用于检测技术的科技创新公司。 公司专注服务于工业领域客户,通过显微光学成像、图像算法及实验方案应用技术和产品帮助工业企业实现数字化、智能化检测发展。公司主要为用户提供检测技术方案及检测装备。产品功能涵盖尺寸及缺陷检测、智能制造、实验室理化解决方案等工业领域多个环节。 经过十余年的深耕与积累,公司累计服务2000多家客户,积累了大量的行业经验,并确保了前沿的显微光学与检测实际场景的深度融合。公司主要客户群体涵盖了微电子行业、汽车零件行业、智能装备等工业领域。 西努光学以科技创新为公司发展的原动力,以显微光学成像、图像算法为核心技术,紧密围绕企业的检测需求,通过持续科技创新,为用户提供*的工业检测设备及应用方案。西努光学 诚信为您服务 专业为您服务基本价值观:1、西努光学秉持“以光学为核心,为客户提供解决方案”的经营方针,致力于光学检测与应用水平的提升。2、西努光学以诚信、专业、服务为基本价值观和追求,以实现客户-西努、供应商-西努光学、合作伙伴-西努、员工-西努双赢为目标。3、西努光学认为员工是西努宝贵的财富,是构成西努价值和竞争力的核心;西努光学将根据自身条件不遗余力地为员工职业发展、事业发展和家庭幸福做出*大努力。4、公平、公正、坦诚是西努人事制度的价值基础;友爱互助、团队协作是西努特别重视的品质;勤勉、敬业、精益求精是西努特别强调的职业精神。5、诚信守约是西努基本行为准则。西努坚决反对和抵制一切欺诈、不守信诺的行为;无论这种行为基于何种理由。6、可持续发展、效益稳定增长、效率稳步提升是西努战略制定的基本准则和依据。7、技术和服务是西努能够成为光学解决方案提供商的关键,西努光学确保技术提升、客户满意度提升方面的投入能够随利润的增长而增长。

详细信息

集优异性能、操作简便性、多样化功能于一身


日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性,结合众多的自动化功能,可高效发挥其高性能。

SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察。





SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察


样品台可搭载超大/超重样品

· 通过更换样品提示,可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品
· 选配样品交换仓,可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品,大大提高了工作效率
· 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度*

· 红外CCD探测器,提高了样品台移动的安全性


支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察
· 与GUI联合,可配备样品仓室导航相机
· 覆盖整个可观察区域
· 支持360度旋转


                  

随着各种自动化功能的强化,操作性能得到了进一步优化


一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI
各种自动化功能
· 自动调整算法经改良后,等待时间减少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
· 提高了自动聚焦精度
· 搭载Intelligent Filament Technology(IFT)
Multi Zigzag,可实现多区域的大视野观察
Report Creator,可利用获得的数据批量生成数据报告


                                         

可提供满足测试需求的应用解决方案


可满足多种观察需求的探测器
· 搭载高灵敏度UVD*,支持CL观察
· 高灵敏度半导体式背散射电子探测器,切换成分/凹凸等多种图像
配备了多功能超大样品仓,可以搭载多种配件
· SEM/EDS一体化功能*
三维显示测量软件 Hitachi Map 3D*
支持图像测量软件Image pro
*配件


                                                       
ITEM SU3800 SU3900
二级电子分解能 3.0nm(加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式)
15.0nm(加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式)
背散射电子分解能 4.0nm(加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式)
倍率 ×5~×300,000(照片倍率*1)
×7~×800,000(实际显示倍率*2)
加速电压 0.3kV~30kV
低真空度设定 6~650 Pa
图像位移 ±50µm(WD=10mm)
*大样品尺寸 200mm直径 300mm直径
样品台 X 0~100mm 0~150mm
Y 0~50mm 0~150mm
Z 5~65mm 5~85mm
R 360°连续
T -20°~+90°
*大可观察范围 130mm直径(R并用) 200mm直径(R并用)
*大可观察高度 80mm(WD=10mm) 130mm(WD=10mm)
电机驱动 5轴电机驱动
电子光学系统 电子枪 中心操控式钨丝发射
物像镜头光圈 4孔可动光圈
检测系统 二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器
EDX分析WD WD=10mm(T.O.A=35°)
图像显示 自动光轴调整功能 自动光束调整(AFS→ABA→AFC→ABCC)
自动光轴调整(实时级别对齐)
自动调整光束亮度
自动图像调整功能 自动亮度和对比度控制(ABCC)
自动对焦控制(AFC)
自动标记和焦点功能(ASF)
自动灯丝饱和度调整(AFS)
自动光束对准(ABA)
自动启动(HV-ON→ABCC→AFC)
操作辅助功能 光机旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入(点对点测量、角度测量、文本)、预设放大、样品台位置导航功能(SEM MAP)、光束标记功能
配件 ■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器(UVD)、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成
配件(外部装置) 能量散射X射线分析仪(EDS)、波长色散X射线分析仪(WDS)、
各种外部功能台(加热台、冷却台、牵引台)
* 1.指正放大倍率为127 mm x 95 mm(4x5照片尺寸)的显示尺寸。
* 2.放大倍率为509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的显示尺寸。

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