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匀胶机
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产品特点
v 采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶的均一性。
v 5寸全彩触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可选配10个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,z多100个阶段。
v 内置水平校准装置,保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
v 多重安全保护:
» 电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;
» 盖子自锁功能,防止飞片盖弹开伤人;
» 双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,限度保证实验人员安全。
v 样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护,有效降低电机进胶的风险。
v 一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。
v 符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计,取放样品方便。
v 不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,旋涂腔体采用PTFE材料。旋涂托盘采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸碱防腐蚀,保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。
v 上下双腔体设计,较大的上腔体便于擦拭去除胶液,锥形下腔体结构设计便于收集胶液,并带废胶收集装置
v 可选氮气吹干、氮气保护,自动滴胶或简易滴胶装置,提供多种的操作便利性。
v 适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP 等多种材料。
技术参数
型号 | 转速(转/分) | 转速稳定度 | 匀胶时间 | 旋涂基片尺寸mm | 外型尺寸(LxWxH)mm |
SC1 | 50-10000 | ±1% | 0-2000秒 | 圆片Φ5-Φ100,方片z大100x100 | 310x260x250 |