多功能离子减薄仪

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多功能离子减薄仪

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详细信息

  • 主要技术参数:

    •  具有2把离子枪,离子束能量为0.8keV-10keV,相对位置,可分别±45°倾斜,样品台倾斜角度-120°至 210°,离子束加工角度0°至90°,样品
    平面摆动角度<360°,垂直摆动距离±5mm。实际操作参数根据具体应用需要选择(系统备有参考参数,也可自行设置参数并存储)
    •  可选配样品台:TEM样品台(Ø3.0mm或Ø2.3mm),FIB样品清洗台,SEM样品台,斜坡切割样品台(对样品35°或90°斜坡切割)等
    •  SEM样品台可容纳样品尺寸:直径25mm,高度12mm
    •  全无油真空系统,样品室带有预抽室,保证样品交换时间<1分钟
    •  全电脑控制,触摸屏操作界面,内置视频观察系统,可实时观察样品处理过程




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