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小量程气体质量流量控制器-LF-N010 (数字型)
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产品优势/ Product advantages
适用范围:2 ml/min ---30 l/min
精度:±1.0%F.S,耐压:3Mpa,信号:RS485 RS232 MODBUS协议,供电:15-24VDC
用于对中大流量气体的质量流量进行精密的测量和控制,具有精度高,数字电路,稳定性好,可靠性高,安装简单,操作方便。
用于对中大流量气体的质量流量进行精密的测量和控制,具有精度高,稳定性好,数字电路,可靠性高,安装简单,操作方便。
广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
气体质量流量控制器LF-N 产品参数
产品型号 | LF-N010C | LF-N011M |
满量程范围 | SCCM 0~5,10,20,30,50,100,200,500 SLM 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
量程比 | 控制器50:1 | 流量计100:1 |
精度 | ±1.0%F.S | |
线性 | ±0.5%F.S | |
重复性 | ±0.2%F.S | |
阀门类型 | 常闭阀 | |
响应时间 | ≤1S | |
工作压差 | 0.1...0.5Mpa | |
.大耐压 | 3MPa | |
工作环境温度 | 5...45℃ | |
泄漏率 | 1×10-8Pa.m3/s | |
通信信号 | RS232/RS485 MODBUS协议 | |
供电方式 | 24VDC(250mA) | |
密封材料 | 丁晴橡胶 氟橡胶 | |
接头尺寸 | 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8” | |
电器接头 | DB9针 |