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THz-NeaSNOM 太赫兹近场光学显微镜
- 型号
- THz-NeaSNOM
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QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司（暨Quantum Design中国子公司）是的科学仪器制造商——美国Quantum Design公司在设立的诸多子公司之一。美国Quantum Design公司生产的SQUID磁学测量系统 (MPMS) 与材料综合物性测量系统(PPMS)已成为的测量平台，广泛分布于世界上几乎所有半导体、超导、材料、纳米等研究领域的实验室。同时，美国Quantum Design 公司利用遍布世界的专业营销与售后队伍打造了一个代理分销网络，与世界其他的设备制造商合作，为其提供化专业产品销售和售后服务网络。2007年，美国Quantum Design公司并购了欧洲的仪器分销商德国 LOT公司，使得Quantum Design公司代理分销和售后网络变得更加完整和强大，成为大的*仪器和*技术转移的营销商之一。
详细信息
太赫兹近场光学显微镜 THz-NeaSNOM
---30nm光学信号空间分辨率
产品简介：
太赫兹（THz）光源波长较大，一般在300微米左右。由于衍射极限的存在，THz远场测量系统的光学空间分辨率一般被限制在150微米左右。该THz光远场测量结果的准确度经常无法满足对材料科学研究，尤其是需要纳米分辨率的微细尺度材料分布研究（例如半导体芯片中各个组成：源极，漏极，栅极）的实验。THz-NeaSNOM近场光学显微镜的出现为此难题提供了一个很好的解决方案。
德国neaspec公司与Fraunhofer IPM在neaspec公司neaSNOM近场光学显微镜的基础上，已经成功研发了一套易用使用且THz系统的空间分辨率达到30nm的实验设备。
THz-NeaSNOM主要技术参数与特点：
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| +优于30nm的空间分辨率 |
应用案例：
THz-NeaSNOM 30nm空间分辨率
THz-NeaSNOM近场光学显微镜（下图左）对半导体结构的测量结果图。
该结果表明硅衬底（上图左，灰色）上的SiO（一氧化硅）的尺寸大约在1.5×1 平 方微米。通过分析左侧的高度数据，可以知道该一氧化硅结构仅仅只有大约22纳米厚度。虽然该层状结构非常薄，但THz-NeaSNOM近场光学显微镜（下图左）在测量高度的同时仍然能够记录该结构与衬底的近场光学信号的明显不同衬度的结果。该THz-NeaSNOM近场光学显微镜不仅在测量非常薄样品的时 候灵敏度非常高，而且通过分析近场光学信号数据（下图右）也证实了它超高的空间分辨率（~25-30nm）。
表征半导体器件 Nature 456,454(2008) |
超快机制研究纳米线 Nature Photonics 8,841(2014) |
测试数据
表征半导体器件 Nature 456,454(2008)
超快机制研究纳米线 Nature Photonics 8,841(2014)
用户单位
部分用户好评与列表（排名不分先后）
neaspec公司产品以其稳定的性能、*的空间分辨率和良好的用户体验，得到了国内外众多科学家的认可和肯定......
南京大学 | 中山大学 |
首都师范大学 | 苏州大学 |
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