HFC-303是一种质量流量控制器,通过结合电磁式先导阀和为大流量控制开发的气动流量控制阀,可实现大流量的高精度气体控制,这在过去很难实现。
作为HFC-203系列的后续产品,HFC-203系列已广泛应用于工业领域,是一种新型号,可实现更高的精度和高速响应。
- 采用两级控制阀,支持高达1000 SLM的高流量
- 即使流量大,也能实现±1.0%的高精度
- 确保传统型号的高速响应性能
- 如果流量超过1000 SLM,请与我们联系
标准规格
流量范围 (N2转换20°C / 1 ATM) | 100〜300 SLM(可选) | 301〜1000 SLM(可选 | |
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传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
阀门方式 | 比例螺线管阀门(未通电时关闭) | ||
控制范围 | 2~100%(F.S.) | 5~100%(F.S.) | |
准确性 | ±1%F.S.(25°C) | ||
温度系数 | 0.1%F.S./°C(15~35°C) | 0.2%F.S./°C(15~35°C) | |
再现性 | ±0.25%F.S. | ||
压差 | 个人反应 | ||
耐压 | 3.4MPa(G)(HP选项6.8MPa(G)) | ||
He泄漏率(* 1) | 1 x 10-7 Pa.m3/s以下 | ||
允许周围温度 | 5~45℃ | ||
允许环境湿度 | 10~90%RH(无结露) | ||
气体接触材料 | 主体SUS316,Ni,SUS302 | ||
隔膜FKM | |||
阀座FKM | |||
密封材料FKM(选件CR,Kallets) | |||
电气连接 | Dsub 15针 | ||
流量设定 输入信号 | 0~5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) | ||
流量输出信号 | 0~5 VDC(外部负载电阻250kΩ以上) | ||
所需电源 | +15 VDC(±5%)150 mA, -15 VDC(±5%)300 mA | ||
配件(车身尺寸) | 标准1/2 SWL(3 / 4.16 UNF) | 标准3/4 SWL(1.1 / 16.12 UNF) |
(* 1)不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量(参考值)为1×10.6Pa•m3 / sec以下。
警告
流量范围附带的规格(流量范围,精度,响应性等)是N2或空气转换中的规格。
另外,生产规格条件是初级侧小于300kPa,次级侧向大气开放。
有关压力条件,请另行咨询。
接线连接(D-sub 15PIN)
PIN | 信号名称 | PIN | 信号名称 | |
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1 | NC | 9 | 电源-15VDC | |
2 | NC | 10 | NC | |
3 | NC | 11 | 电源+ 15VDC | |
4 | NC | 12 | 电源COM | |
5 | 电源COM | 13 | NC | |
6 | 输出信号0-5V | 14 | 设定信号 | |
7 | NC | 15 | NC | |
8 | 强制阀门打开/关闭 |
警告
3150/3250/3350/3450系列D-sub 15针和HFC / HFM系列
Z的D-sub 15引脚的布线布置不同。
连接不当可能会导致故障。