沈阳多功能蒸馏器CYZL-6C氨氮蒸馏装置在半导体制造中，使用洗涤溶液从晶片表面去除金属和其他污染物的洗涤过程占整个工艺过程的约20%-30%。目前，洗涤溶液的更换频率通常基于使用时间来确定的。然而，近年来，降低制造成本和减少环境影响的需求要求更有效地使用洗涤溶液。因此，有必要实时监测污染程度。为了满足这些需求，岛津一直在研究LIBS技术，因为LIBS技术的研发可以利用岛津自身广泛的激光光学和光谱技术优势蒸馏法测氨氮​的具体操作方法。 LIBS是一种可以轻松同时测量多个元素的技术。当样品被激光照射时，它通过样品表面的热蒸发产生等离子体。该等离子体发出特征光是样品所的。因此，可以通过检测所得光谱来测量元素。通过激光照射在特殊板上蒸发至干燥的样品产生等离子体，然后检测从等离子体发射的光以识别和定量样品中包含的金属元素。检测限为ppm级别。该技术基于LIBS测量原理，提供世界上高的灵敏度水平(根据岛津截至2018年7月的调查)。目前的原型机尺寸为1 m×1 m蒸馏法测氨氮的​具体操作方法，可与半导体晶圆清洗系统连接。从取样到测量洗涤溶液的整个过程是自动化的，并且可以在大约一分钟内完成12种痕量金属组分的同时测量，例如铜、铝和钛。由于能够更好地理解合适的洗涤溶液更换频率，使得该技术的实际应用将提供诸如提高产率和降低制造成本等益处。

主要特征：

1、系统简洁、安装维护方便、使用可靠，配件全套，无需购买后另配配件；

2.、具有热效率高、寿命长、起温和降温速度快、加热时间和加热功率可调等优点；

3、操作简单、美观实用、节能降耗环保；

4、一次可处理6组样品，并可单孔单控温，进口温度传感器

5、选配外接循环水冷却装置。

沈阳多功能蒸馏器CYZL-6C氨氮蒸馏装置一体化智能蒸馏仪挥发酚操作步骤  

水中挥发酚的测定采用4-氨基分光光度法，实验原理、适用范围、所需试剂、干扰消除及结果计算等参照国标HJ503-2009。

 一、操作步骤  1、插上电源，检查蒸馏仪器，确保各加热孔能正常加热，接通循环水开关，检查各接口是否漏水，以保证仪器正常运行。  

2、取250ml样品于500ml全玻璃蒸馏瓶中，并加入50ml蒸馏水，加数滴甲基橙指示剂，若试样未呈现橙红色，需补加磷酸溶液。  

3、开始加热蒸馏，待馏出液接近250ml时，停止时加热，并用蒸馏水定容至250ml。  

4、打开本公司萃取仪，检查仪器能否正常工作，检查完毕后，将250ml馏出液全部转移至本公司萃取仪自带500ml分液漏斗中。  

5、在分液漏斗中加入2.0ml缓冲溶液，设置萃取强度为40Hz，时间90s，停留时间为0，萃取一次，以混匀溶液。  

6、加入1.5ml4-氨基溶液，萃取强度、时间、次数不变，萃取一次，混匀溶液。 

7、再加入1.5ml铁，萃取强度、时间、次数不变，萃取一次，使得试剂与水样混匀。静置10min。 

8、在上述分液漏斗中加入10ml，设置萃取强度为35Hz，时间60s，停留时间为30s，萃取次数为3次，设置完毕后，按启动键开始萃取。萃取完毕后，静置分层。 

9、用干脱脂棉或滤纸拭干分液漏斗颈管内壁，于颈管内塞一小团干脱脂棉或滤纸，层通过干脱脂棉团或滤纸，弃去初滤出的数滴萃取液后，将余下直接放入光程为20mm的比色皿中。 

10、于460nm波长，以为参比，测定吸光度。  11、空白实验：蒸馏水代替试样，按4-10步骤测定其吸光度。空白与试样同时测定。 

二、注意事项  

1、缓冲溶液为氨水配置，所以在混匀时萃取强度不宜过高，在适宜强度下要保证充分混合均匀，否则会造成空白偏大。 

2、放液时要成滴，不能成线。

全自动智能蒸馏仪使用操作步骤
　　1、将配套玻璃仪器安装固定在给定的玻璃装置支架上。
　　2、连接好各路软管。再次熟练认识一下氮吹控制管路（选用，二氧化硫才选配）；循环水的进（一路）、出水（一路）管路；防倒吸（四路或六路防真空阀门）管路；自动清洗管路。
　　3、熟悉面板上的主电源开关、触摸屏（开机可视操作）、加热控制（四路或六路单温单控；右旋转温度升高，反之则低）、搅拌控制（四路或六路单控，右旋转转速增大，反之则低）的旋钮。
　　4、熟悉右侧的主电源插座（温度控制、搅拌控制电源）、辅电源插座（制冷、循环水）；并对应连接上电源（220V,50HZ)
　　5、熟悉右侧的主电源开关（温度控制、搅拌控制电源）、辅电源开关（制冷、循环水）、循环水控制开关、加水开关（开制冷、循环水前,先用硅胶管连接加水塑料接头，另一头插进准备好的清洁桶装水中；然后开加水开关，水会自动加入；仪器后面左侧有水位计；显示水位高度；水位以水位计中间高度为宜）
　　6、打开主电源开关（面板zui左侧）。
　　7、点击“智能一体化蒸馏仪”
　　8、点击“二氧化硫残留量检测仪　
　　9、选择上面的主界面之右下角的“配方设置”，会显示下面的配方设置界面（请注意观察：配方编号“”----会随着“前一模式”—“后一模式”的点击发生变化，依次改变为“氨氮”、“挥发酚”等；根据需要从而选定、设定需要的试验参数）根据实验要求设置好每一路的温度、时间。（因为二氧化硫没有重量要求，统一设置为300或500即可（技术人员释疑此问）
　　10、点击打开“加热参数”，设定加热参数　
　　11、配方设置好，请按上图标识，点击“保存参数”，再点击“使用参数”；然后点击“返回”，则再次出现主界面图示
　　12、点击“智能一体化蒸馏仪”字标图示，则出现“智能一体化蒸馏仪”工作界面，然后点击“开始”（点击“前一模式”---“后一模式”选定配方编号，为”“氨氮”“挥发酚”等）
　　13、点击“二氧化硫残留量检测仪”字标图示，则出现“二氧化硫残留量检测仪”工作界面，然后点击“开始”（点击“前一模式”---“后一模式”选定配方编号，为“二氧化硫”
　　14、如上图，在工作界面下，此时主开关、辅开关、循环水开关均在接通状态。且显示界面为已经设置好的“配方”：。此时点击：“制冷”则制冷压缩机工作；点击“循环水”则冷凝管内会有冷凝水循环流动（转轮可视）；点击“搅拌”则液体内加入的搅拌子会转动搅拌，并可根据要求调速（面板转速控制旋钮）；分别点击“加热”则各路分别加热并可根据要求调温（面板温度控制旋钮）
　　15、实验完毕后，依次关闭面板上的主电源开关、右侧的主电源开关、辅电源开关、循环水开关即可。zui后拔掉电源插头　
　　16、如果再做实验，直接启动仪器，如不改变配方设置，则按照原来的配方执行（今后就会显示出其一体化、功能全面、操作方便的极大优点）。