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扫描电子显微镜 SU3800/SU3900
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详细信息
产品简介
日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性，结合众多的自动化功能，可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。
①SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察
■ 样品台可搭载超大/超重样品
· 通过更换样品提示，可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品
· 选配样品交换仓，可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品，大大提高了工作效率
· 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度*
· 红外CCD探测器，提高了样品台移动的安全性
■ 支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察
· 与GUI联合，可配备样品仓室导航相机
· 覆盖整个可观察区域
· 支持360度旋转
②随着各种自动化功能的强化，操作性能得到了进一步优化。
■ 一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI
■ 各种自动化功能
· 自动调整算法经改良后，等待时间减少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
· 提高了自动聚焦精度
· 搭载Intelligent Filament Technology（IFT）
■ Multi Zigzag，可实现多区域的大视野观察
■ Report Creator，可利用获得的数据批量生成数据报告
③可提供满足测试需求的应用解决方案
■ 可满足多种观察需求的探测器
· 搭载高灵敏度UVD*，支持CL观察
· 高灵敏度半导体式背散射电子探测器，切换成分/凹凸等多种图像
■ 配备了多功能超大样品仓，可以搭载多种配件
■ SEM/EDS一体化功能*
■ 三维显示测量软件 Hitachi Map 3D*
■ 支持图像测量软件Image pro
产品参数
| ITEM | SU3800 | SU3900 | |
| 二级电子分解能 | 3.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式） | ||
| 15.0nm（加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式） | |||
| 背散射电子分解能 | 4.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式） | ||
| 倍率 | ×5～×300,000（照片倍率*1） | ||
| ×7～×800,000（实际显示倍率*2） | |||
| 加速电压 | 0.3kV～30kV | ||
| 低真空度设定 | 6～650 Pa | ||
| 图像位移 | ±50µm（WD＝10mm） | ||
| 样品尺寸 | 200mm直径 | 300mm直径 | |
| 样品台 | X | 0～100mm | 0～150mm |
| Y | 0～50mm | 0～150mm | |
| Z | 5～65mm | 5～85mm | |
| R | 360°连续 | ||
| T | －20°～+90° | ||
| 可观察范围 | 130mm直径（R并用） | 200mm直径（R并用） | |
| 可观察高度 | 80mm（WD=10mm） | 130mm（WD=10mm） | |
| 电机驱动 | 5轴电机驱动 | ||
| 电子光学系统 | 电子枪 | 中心操控式钨丝发射 | |
| 物像镜头光圈 | 4孔可动光圈 | ||
| 检测系统 | 二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器 | ||
| EDX分析WD | WD＝10mm（T.O.A＝35°） | ||
| 图像显示 | 自动光轴调整功能 | 自动光束调整（AFS→ABA→AFC→ABCC） | |
| 自动光轴调整（实时级别对齐） | |||
| 自动调整光束亮度 | |||
| 自动图像调整功能 | 自动亮度和对比度控制（ABCC） | ||
| 自动对焦控制（AFC） | |||
| 自动标记和焦点功能（ASF） | |||
| 自动灯丝饱和度调整（AFS） | |||
| 自动光束对准（ABA） | |||
| 自动启动（HV-ON→ABCC→AFC） | |||
| 操作辅助功能 | 光机旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入（点对点测量、角度测量、文本）、预设放大、样品台位置导航功能（SEM MAP）、光束标记功能 | ||
| 配件 | ■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器（UVD）、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成 | ||
| 配件（外部装置） | 能量散射X射线分析仪（EDS）、波长色散X射线分析仪（WDS）、 | ||
