美国 Entegris 英特格 直通式气体过滤器 WG3NS8RR2 全新

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美国 Entegris 英特格 直通式气体过滤器 WG3NS8RR2 全新

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美国 Entegris 英特格 直通式气体过滤器 WG3NS8RR2 全新

美国 Entegris 英特格 直通式气体过滤器 WG3NS8RR2 全新

为超纯气体系统过滤提供的微粒过滤,是高温和动态压力应用的理想选择。

  • 的外壳组件通过最小化焊接区域来消除除气
  • 全金属结构是高温和动态压力应用的理想选择
  • 紧凑的尺寸和灵活的配件选择提供了的设计效率并限度地降低了工程成本
材料 滤芯 烧结镍膜过滤器
住房 电抛光 VAR316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 <0.03><1>3) >0.01 μm
挥发物 H 2 O、O 2和 THC 的挥发性脱气低于检测限(在室温下通过 RGA 和 FID)
移除等级 ≥0.0015 微米
表面饰面内饰 ≤5μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 × 10 -10 atm-cc/秒。
已测试 1 × 10 -9 atm-cc/秒。
操作条件: 入口压力 20°C (68ºF) 时为 20 MPa(200 bar,2900 psid)
设计压力 20°C (68ºF) 时为 20 MPa(200 bar,2900 psid)
正向/反向压差 1 兆帕(10 巴,150 磅/平方英寸)
工作温度 惰性气体 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
腐蚀性和反应性气体 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
保修单 5年
颗粒保留 在 15 slpm 时去除所有颗粒大于 99.9999999% (9 LRV)
流量等级 参考性能数据

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