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红外光谱仪热台 RT600-H
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硅片热台 RT400XRD
椭偏仪冷热台 RTL500-GP
椭偏仪热台 RT1000、RT600
主营产品公司介绍
温度范围:室温~600℃
加热体:承样平台
窗口至样品距离:4.5 mm
透 光 孔:φ2.2mm
升温速率:100 ℃/min
温度显示与控制精度:0.1 ℃/0.3 ℃
温度控制:调节器精度0.2级,PID人工智能控制,50段程序
温控软件:中英文界面切换,实时操控,多点温度校正、可设置温速、控温区间等,工艺曲线显示与记录
实验环境:腔体密闭,可通隋性气氛
冷却方式:循环水冷
整套配置:热台、温度控制仪及控制软件、循环冷却泵、制箔器等
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