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二次离子质谱探针
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EQS 是差式泵式二次离子质谱(SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe),可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用的SIMS 探针,便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。
·光栅控制,增强深度分析能力
·所有能量范围内,离子行程的最小扰动,及恒定离子传输
·灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
·质量数范围: 300amu,500amu,1000amu
·检测器: 离子计数探测器、正负离子探测器、107 cps
·质量过滤器: 3F四级杆
·杆直径: 9mm
·加热: 250℃
·离子源: 电子轰击,可用于SNMS和RGA的单根灯丝
MAXIM - Quadrupole SIMS Analyser (562 KB)
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