日立高新超高分辨率场发射扫描电子显微镜

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SU9000 日立高新超高分辨率场发射扫描电子显微镜

型号
SU9000

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详细信息

 

日立超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000

日本日立HITACHI超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列 的详细介绍

  沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2

  采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的佳性能

  与现有机型相比分辨率提高了20%左右

  (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

  采用污染小、高真空样品仓

  运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2

  低着陆电压下高分辨观察

日立超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000是门为电子束敏感样品和需大300万倍稳定观察的半导体器件,高分辨成像所设计。

  • 新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。

    • 0.4nm / 30kV(SE)

    • 1.2nm / 1kV(SE)

    • 0.34nm / 30kV(STEM)

  • 用改良的高真空性能和的电子束稳定性来实现高效率截面观察。

  • 采用全新设计的Super E x B能量过滤技术,高效,灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。

     

     

日立科学仪器()有限公司为您提供日立超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000的参数、价格、型号、原理等信息,日立超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000产地为日本、品牌为日立,型号为SU9000,价格为面议,更多相关信息可,公司客服电话7*24小时为您服务
 

更新时间:2022/11/10 9:10:45

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