激光测振仪(可mapping)

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激光测振仪(可mapping)

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上海昊量光电设备有限公司是目前国内光电产品专业代理商,也是近年来发展迅速的光电代理企业。除了拥有一批专业技术销售工程师之外,还有拥有一支强大技术支持队伍。我们的技术支持团队可以为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等工作。不但为客户提供适合的产品,而且为客户提供完善的服务是我们始终秉承的理念!

自2008年成立以来,昊量光电专注于光电领域的技术服务与产品经销,致力于引进国外很具*性与创新性的光电技术与可靠产品,为国内前沿的科研与工业领域提供优质的产品与服务,助力中国智造与中国创造! 目前,昊量光电已经与来自美国、欧洲、日本的多家光电产品制造商建立了紧密的合作关系。其代理品牌均处于相关领域的发展前沿,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等,所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究与国防等。

昊量光电坚持“专业源自专注,专注成就未来”的经营理念。近年来,我们专注于前沿的细分市场,为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、*激光制造等领域的客户提供系统解决方案。

秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观,昊量光电坚持以诚信为基石,凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值,实现各方共赢!

立足于光电产业,昊量光电始终坚持价值创造与创新,赢得客户与合作伙伴的认可,不断拓展业务领域的新边疆,立志打造国际的代理服务品牌!

详细信息

高精度激光(可mapping)


通常,微机械系统应尽量避免机械振动,因为振动会导致微结构精度降低,会增加机械疲劳,从而导致整个系统的故障。相反,对于传感器和扬声器等设备则依靠振动来实现其功能,因此在需求的频率范围内拥有良好的响应对设备性能很重要。

为了研究微观样品在不同位置的振动,传统设备通常在显微系统中采用可见激光用扫描光束,虽然这种方法拥有很高的横向分辨率,但是由于显微系统中视场范围和分辨率成反比,所以几毫米的样品无法在高分辨率的情况下成像。由于目前MEMS市场的快速增长,对高成像分辨率的振动计的需求日益增加,此外由于MEMS通常是封装好的产品,这对传统的系统具有极大的挑战性。

为了解决满足日益增长的市场需求和解决传统振动计的问题,我们推出了高精度振动测量仪,该系统可实现百万像素成像,并在图像的每个像素都可以获得图像信息。该系统采用新颖的集成迈克尔逊的红外物镜与高精度位移台结合,因此成像范围只受平台移动范围的限制。

该设备主要由控制器,探头,振动台等几部分构成。

该设备探头部分主要包含集成了迈克尔逊干涉光路的红外物镜和三维组成,该物镜安装在三维位移平台,平台可提供20mm的行程,全行程重复精度可达30nm。从而该测振仪的视野要远远大于振镜扫描范围。物镜结合了微型迈克尔逊干涉仪和高分辨率成像光学,通过一个单模耦合到控制器中。因为成像光路和迈克尔逊干涉仪为相同光路,因为设备结构紧凑,横向分辨率可达2μm。

由于探头是通过单模光纤与控制器相连的,因此该光纤与小孔有相同的功能和成像光路组成了共聚焦成像系统。因此只有在焦平面反射的光才会被探测到,通过光纤进入控制器。共焦系统拥有很多优点,例如,可以透过窗口,滤掉反射层对测试的影响;该系统使用的是1550的激光,因此可以穿透对可见光不透明的材料,例如硅,可用于封装在硅中的传感器件的测量(如下图所示)。

样品的振动可以由系统的振动台激励也可以由电信号产生,在图像的每个像素点都可获得样品的振动信息,为了达到这个目的,在物镜的前段装有微型迈克尔逊干涉仪,分束器将光束分为参考光和探测光,参考光通过固定的镜子返回,探测光则聚焦到样品上。反射的光束在分束器出发生干涉并通过光纤传输到光电探测器上。当样品沿轴向有位移时,光程将会发生变化,这将导致干涉的变化从而计算出位移的变化。因此可以通过在频域中绘制位移数据来分析振动也可以通过器直接实时成像。

产品参数:

Vibration Resolution in Single Point Mode [pm]

<>

Vibration Resolution in Imaging Mode [nm]

0.1

Frequency Range [MHz]

Up to 2.5

Optical Lateral Resolution [μm]

2 ... 7

Working Distance [mm]

1.5 ... 10

Maximum Image Size [mm]

20 x 20

Minimum Pixel Size [μm]

1

Maximum Number of Pixels

1000 x 1000

Controller

2 units of each 33 x 27 x 7.2 cm (W x L x H),   combined    weight 7.6 kg

Scanning Stage

5.5 x 11.0 x 7.5 cm (W x L x H), weight 0.25 kg

Scanning Mount

Granite stone 15 x 20 x 4 cm (W x L x H) with   stainless

Steel post 2.5 x 15 cm (Ø x H), combined weight   4.3 kg

Shaker Stage

Stainless Steel 8 x 1.5 cm (Ø x H), weight 0.5 kg


APPLICATION NOTE:

1)解析超快的动态响应(ACTUATED MIRROR)

2)悬臂梁性能表征

3)探究智能手机扬声器非音谐振

4)透过硅封装测量MEMS的振动

5)利用共聚焦测量窗口下悬梁振动性能

6)真空环境下测量悬梁真空

7)利用振动计测量

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