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其他电子显微镜

聚束科技（北京）有限公司，成立于2015年，总部位于北京，核心团队曾效力于世界前端半导体工业电镜制造商。聚束科技励志打造成使国人自豪的民族电镜新名片，不仅是ZG制造，更是ZG创造。公司专注于科研及工业等领域应用的高通量、全自动化电子显微镜解决方案，具备独立设计和生产场发射（Schottky Field Emission）电子显微镜系统能力并拥有全部核心的自主知识产权，可以根据用户及行业需求定制化设计、生产定向用途电镜系统，结合高速图像大数据采集能力和AI大数据分析能力，从而极大地提高纳米成像检测效率。

详细信息

产品介绍: NavigatorSEM-100高通量（场发射）扫描电子显微镜

聚束科技独立研发并拥有自主知识产权的NavigatorSEM-100高通量（场发射）扫描电子显微镜，通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计，实现了高通量成像，成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。其全部采用直接电子探测器的技术方案，成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性，性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时操作简单，全自动一键换样，7*24小时无人值守运行，全面提升科研效率。我们将成熟的工业化高通量电镜检测技术应用在生命科学、材料研究、半导体工业、地质资源等领域。尤其在神经生物学3D重构、材料大面积表面分析、半导体反向工程、纳米技术分析等应用领域有显著优势。

肖特基场发射电子枪

SORRIL^TM复合式电磁物镜系统

光学导航系统

全自动样品交换系统

聚焦跟踪系统

纳米级运动平台

实时运算图像处理服务器

* NavigatorSEM-100详细信息

特性优势

: 极速成像

: 高质量成像

: 跨尺度大规模成像

: 智能分析

: 操作简单

极速成像

通过创新的硬件和软件设计，实现二次电子与背散射电子双通道同步成像：视频级高分辨成像2×100M像素/秒，6秒钟即可拍摄一张6亿像素清图像（区域：50μm×50μm分辨率:24K×24K ）。相较传统意义扫描电镜，其扫描速度高出一个数量级以上。

高清视频级摄像帧率（2×200帧/秒@512×512，或2×60帧/秒@1024×1024），使其具有实时观测样品动态变化的能力。

基本指标: NavigatorSEM-100高通量（场发射）扫描电子显微镜

参数类型	参数值
分辨率	1.5nm@1kV 1.2nm@3kV 1.0nm@5kV
加速电压	0.1 kV - 12 kV
放大倍数	500X - 600,000X(SEM) 1X - 500X(光学)
束斑电流	50pA-300nA
图像大小	512X512像素-24kX24k像素
图像采集速度	双通道同时采集2×100M 像素/秒驻留时间(Dwell Time)10纳秒/像素