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压电亚纳米/纳米平移台（压电直推型，0-1500μm行程）
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上海昊量光电设备有限公司是目前国内光电产品专业代理商，也是近年来发展迅速的光电代理企业。除了拥有一批专业技术销售工程师之外，还有拥有一支强大技术支持队伍。我们的技术支持团队可以为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等工作。不但为客户提供适合的产品，而且为客户提供完善的服务是我们始终秉承的理念！
自2008年成立以来，昊量光电专注于光电领域的技术服务与产品经销，致力于引进国外很具*性与创新性的光电技术与可靠产品，为国内前沿的科研与工业领域提供优质的产品与服务，助力中国智造与中国创造! 目前，昊量光电已经与来自美国、欧洲、日本的多家光电产品制造商建立了紧密的合作关系。其代理品牌均处于相关领域的发展前沿，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究与国防等。
昊量光电坚持“专业源自专注，专注成就未来”的经营理念。近年来，我们专注于前沿的细分市场，为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、*激光制造等领域的客户提供系统解决方案。
秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观，昊量光电坚持以诚信为基石，凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值，实现各方共赢！
立足于光电产业，昊量光电始终坚持价值创造与创新，赢得客户与合作伙伴的认可，不断拓展业务领域的新边疆，立志打造国际的代理服务品牌！
详细信息
高精度亚纳米
法国PIEZOCONCEPT压电纳米平移台是以压电陶瓷为驱动，采用柔性铰链连接，选用比传统电容位移传感器性能更优的Si-HR 传感器，具有更高的稳定性和闭环精度。现可提供一维/二维/三维（X、Z、XY及XYZ）精密压电纳米、仪和快速偏摆台等产品，一维位移台行程可达1500um（MAX）。支持短周期、低费用的定制服务。
采用硅基高精度硅基位移传感器（Si-HR 传感器）闭环反馈，使平台拥有毫秒级响应速度，亚纳米级的分辨率，超低底噪（10-50pm）和超高线性度（0.02%）。配备16Bit高分辨率高速控制器，支持模拟/数字信号控制。被广泛应用于，、系统、原子力显微镜、体容积成像、显微扫描、光路调整、纳米操控技术、 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、等领域。 受到国内外工业领域和科研领域的。
| 主要特点 | 主要应用 | |
高分辨率：0.005nm/urad（Max） 超大行程：1500um（Max） 超低底噪：10-50pm 超高速：谐振频率7000Hz（Max） 高性能传感器：Si-HR 传感器 柔性铰链：高可靠、长寿命 紧凑设计 可用于真空环境 | 超分辨显微 原子力显微镜 干涉测量 精密光学 /扫描 光镊 纳米刻蚀 |
1）单轴
单轴压电平台是可以在单个维度上提供精确定位的产品，主要包含X轴压电平台、Z轴压电平台、物镜、快速反射镜。
① X轴压电平台
可提供各类大行程/高精度、中空/非中空类型的产品
型号 | AU-HS1 | AU-HS1H | AU-CX | AU-LF1 | AU-SLR |
产品图片 |
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行程(μm) | 10/30/50/70/100 | 30/50/70/100 | 100/200 | 100/200/300 | 300/500/800/1500 |
分辨率(nm) | 0.01/0.03/0.05/0.07/0.1 | 0.03/0.05/0.07/0.1 | 0.1/0.2 | 0.1/0.2/0.3 | 0.3/0.5/0.8/1.5 |
重复精度（全行程）nm | 0.02/0.06/0.1/0.14/0.2 | 0.06/0.1/0.14/0.2 | 0.2/0.4 | 0.2/0.4/0.6 | 0.6/1/1.6/3 |
本底噪声nm | 0.001/0.003/0.005/0.007/0.01 | 0.003/0.005/0.007/0.01 | 0.01/0.02 | 0.01/0.02/0.03 | 0.03/0.05/0.08/0.15 |
| 传感器 | 硅传感器闭环反馈 | ||||
| 产品特点 | 超高速，高精度 | 高精度大通孔可用于倒置显微镜 | 大通孔可用于生物样品扫描 | 超大行程 | |
②Z轴压电平台
型号 | AU-Z-stage | AU-C.Z | Z-insert | Z-insert-K-TYPE | LT-Z |
产品图片 |
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行程(μm) | 5/10/25/50 | 100/200 | 100/200/300/500 | 100/200/300 | 100/200/300/500 |
分辨率(nm) | 0.005/0.01/0.025/0.05 | 0.1/0.2 | 0.1/0.2/0.3/0.5 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3/0.5 |
重复精度(nm) | 0.01/0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.4 | 0.2/0.4/0.6/1.0 | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6/1.0 |
本底噪声nm | 0.0005/0.001/0.0025/0.005 | 0.01/0.02 | 0.01/0.02/0.03/0.05 | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03/0.05 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 | ||||
③物镜扫描台
型号 | FOCHS.100 | |
产品图片 |  |
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行程(μm) | 100 | 100/200/300/500 |
分辨率(nm) | 0.1 | 0.1/0.2/0.3/0.5 |
全行程重复精度(nm) | 0.2 | 0.2/0.4/0.6/1.0 |
本底噪声nm | 0.01 | 0.01/0.02/0.03/0.06 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 | |
④一维
型号 | AU-TT1 |
产品图片 |
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角度(mrad) | 5/10 |
分辨率(urad) | 0.005/0.01 |
全行程重复精度（urad） | 0.01/0.02 |
本底噪声（urad） | 0.0005/0.001 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 |
2）两轴压电平台
两轴压电平台可以提供两个维度上的平移或偏转，主要包括XY二维压电纳米位移台和二维快反镜
①XY压电平台
型号 | LFHS2 | C2. | LFS2 | LT2 | BIO2 |
产品图片 |
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行程(μm) | 30/50/75 | 100/200 | 100 | 100/200/300 | 100/200/300 |
分辨率(nm) | 0.03/0.05/0.075 | 0.1/0.2 | 0.1 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 |
重复精度(nm) | 0.06/0.1/0.15 | 0.2/0.4 | 0.2 | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 |
本底噪声(nm） | 0.003/0.005/0.0075 | 0.01/0.02 | 0.01 | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 | ||||
②二维快反镜
型号 | |
产品图片 |
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偏转角度(mrad) | 5/10 |
分辨率(μrad) | 0.005/0.01 |
全行程重复精度（μrad） | 0.01/0.02 |
本底噪声（μrad） | 0.0005/0.001 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 |
3）三轴压电平台
产品图片 | 描述 | 行程 |
| LT3是一款三维压电平台，可提供100,200或300微米的行程。平台使用硅传感器，整体厚度只有20mm，该平台很容易集成到倒置显微镜中 | X-Y-Z |
| BIO3是一款超低剖面的三维纳米可集成在任何倒置显微镜中。载玻片可以放置在其矩形孔中 | X-Y-Z |
| LF3是紧凑型3轴压电平台，具有66mm方孔，X轴和Y轴行程范围为100μm，200μm或300μm，Z轴行程为50μm。 建议要求小尺寸和通光孔时使用。 | X-Y: Z: 50μm |
| LFS3是一款3轴纳米定位平台，X，Y行程为100μm，Z行程20um，通光孔径40 x 40 mm。 | X-Y: 100μm 20μm |
| LFHS3是一款高速三轴纳米定位台，谐振频率高于2k，通光孔径达66x66mm，可实现高速扫描，阶跃时间可达2ms | X-Y: 75μm Z: 50μm |
| LTHS3是一款超薄高速三维定位平台，可配合任何倒置显微镜使用，可实现高速扫描 | X-Y: Z: 50μm |
| C3是一款紧凑型平台，是对准、双光子聚合、激光直写等应用的理想产品 | X-Y-Z 200μm |
| SPM3平台的Z轴具有高达50μm的行程范围，谐振频率高达12.5kHz，当与高功率控制器一起使用时，SPM3.5的Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。因此，SPM平台专为要求苛刻的计量应用而设计，例如原子力显微镜。 | X-Y: Z: 5μm 10μm 25μm 50μm |
| SPM3LR压电平台是三维纳米定位平台，X轴和Y轴的位移为 100μm，200μm或300μm。 Z轴部分的行程MAX可达50μm并具有高达12.5kHz的谐振频率。 SPM3LR.xxx.05的Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。 因此，SPM3LR设计用于要求苛刻的计量应用，例如原子力显微镜。 | X-Y: 200μm 300μm Z: 5μm 10μm 25μm 50μm |
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