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Smartscan 智能型多功能椭偏仪
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智能型多功能椭偏仪产品特点:
1、一键式操作,直接报告输出
2、液晶调制技术,测量光路中无运动部件
3、CCD探测系统,快速全谱输出
4、多个微光斑尺寸选择,可视技术
5、多角度测量
6、可实现在线测量配置
椭圆偏振仪技术参数:
1、光谱范围:450-1000nm
2、多种微光斑自动选择
3、光斑可视技术,可观测任何样品表面
4、CCD探测器
5、自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向
6、自动调节; Z轴高度>35mm
智能型多功能椭偏仪Smart SE采用多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,精确表征和分析的工具。