大面积高速3D激光扫描仪

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NS3500 L 大面积高速3D激光扫描仪

型号
NS3500 L

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上海巨纳科技有限公司是一个集科、工、贸为一体的现代化高科技企业,下属多家生产工厂和贸易公司,主要从事太阳能、光通信、生物化学、国际贸易、耗材配件等业务。公司分有光通信事业部、太阳能事业部、科学仪器事业部、生化仪器事业部、国际贸易事业部和耗材配件事业部。主营产品:1.公司生化仪器事业部前身是一个集开发设计、生产、销售、服务为一体的专业性生化仪器工厂,拥有雄厚的技术力量、*的生产设备和工艺、完善的管理体系及优质的售后服务。自成立二十多年以来,注重吸收德国*技术,不断采用新科技、新材料、新工艺、研制开发出了旋转蒸发器、低温槽、真空泵、超级恒温槽、冷冻干燥机、培养箱、振荡器、搅拌器、离心机、水浴锅等各种系列的一百多个产品。产品高等院校、医院、化工、生化、防疫、环保等科研单位,并大量出口到德国、巴基斯坦、印度尼西亚、西班牙、英国、巴西、中国台湾等国家和地区。 2.光通信事业部,根据《低噪声指数增益钳制掺铒光纤放大器》和《光纤光栅增强的L波段双通掺铒光纤放大器》等技术,开发一系列适用于科学研究、实际光通信系统使用的高质量低成本掺铒光纤放大器(EDFA),技术达到水平。同时,做为光通信公司日本Santec株式会社在中国的光通信系列产品的代理商。3.太阳能事业部,主要从事太阳能电池,太阳能光伏,太阳能组件相关产品的研制、开发、生产、销售、施工和服务。同时,以振兴中国绿色能源为己任,与国外公司合作,把世界的太阳能设备带给中国用户。4.公司国际贸易部,作为多家世界高科技仪器公司在中国市场的总代理,与他们保持着*的合作关系。德国Nanofocus白光共焦表面形貌显微系统(光学轮廓仪)、3D激光轮廓仪;瑞士Lyncee Tec SA公司的数字全息显微镜;美国CRAIC公司紫外,可见,红外显微分光光度系统;加拿大ZABE(精密线性定位器、电机驱动反射镜座,集成的微定位系统,电机驱动微位移平台);瑞士NOVASIN的压差计和相对温湿度计,法国Sofraser公司在线粘度计;德国BOECO实验室仪器(分光光度计、各种搅拌器、离心机、PH仪, 电导计, 电极缓冲液、摇床、混合器、天平、实验玻璃器材等),为国内的客户提供优质的产品和服务。

详细信息

NS-3500L大面积高速3D激光扫描仪是一种准确、可靠的大面积高速3D激光扫描仪。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构,如半导体晶片,FPD产品,MEMS设备,玻璃基板,材料表面等方面拥有*的解决方案。

Features & Benefits(性能及优势):

高分辨无损伤光学3D测量                               自动倾斜补偿

实时共焦成像                                                 简单的数据分析模式

多种光学变焦                                                 双Z扫描

大范围拼接                                                    半透明基材的特征检测

实时CCD明场和共聚焦成像                            无样品准备

自动聚焦

Application field(应用领域):

NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。

可测量微米和亚微米结构的高度,宽度,角度,面积和体积,例如

-半导体:IC图形,凹凸高度,线圈高度,缺陷检测,CMP工艺

- FPD产品:触摸屏屏幕检测,ITO图案,LCD柱间距高度

- MEMS器件:结构三维轮廓,表面粗糙度,MEMS图形

-玻璃表面:薄膜太阳能电池,太阳能电池纹理,激光图案

-材料研究:模具表面检测,粗糙度,裂纹分析




Specification(规格):

Model

Microscope  NS-3500

备注


Controller    NS-3500E

物镜倍率

10x

20x

50x

100x

150x


观察/  测量范围  

水平 (H): μm

1400

700

280

140

93


垂直 (V): μm

1050

525

210

105

70


工作范围: mm

16.5

3.1

0.54

0.3

0.2


数值孔径(N.A.)

0.30

0.46

0.80

0.95

0.95


光学变焦

x1 to x6


总放大倍率

178x to 26700x


观察/测量光学系统  

针孔共聚焦光学系统


高度测量

测量扫描范围

精细扫描 : 400 μm (and/or) 长扫描 : 10 mm [NS-3500-S]


长扫描 : 10mm [NS-3500-T]

显示分辨率

0.001 μm


重复率 σ

0.010 μm

注 1

宽度测量

显示分辨率

0.001 μm


重复率 3σ

0.02 μm

注 2

帧记忆

像素

1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


单色图像

12 bit


彩色图像

8-bit for RGB each


高度测量

16 bit


帧速率

表面扫描

20 Hz to 160 Hz


线扫描

~8 kHz


自动功能

自动增益


激光共焦测量光源

波长

405nm


输出

~2mW


激光等级

Class 3b


激光接收元件

PMT (光电倍增管)


光学观察光源

10W LED


光学观察照相机

成像元件

1/2" 彩色图像 CCD 传感器


记录分辨率

640x480


自动调整

增益, 快门速度, White balance


数据处理单元

PC


电源

电源电压

100 to 240 VAC, 50/60 Hz


电流消耗

500 VA max.


重量

显微镜

Approx. ~50 kg

(Measuring head unit : ~12 kg)


控制器

~8 kg



注 1 :以100×/ 0.95物镜对标准样品(步长1μm)进行100次测量                                                                  

注 2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品(5μm间距)进行100次测量。





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