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MPI手动晶圆级太赫兹探针台系统
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TS150-AIT & TS200-THZ
TS150-AIT和TS200-THZ探针系统专为新兴的THz应用而设计,例如高速5G通信,卫星,非侵入性光谱,医疗保健设备以及短距离汽车雷达等,其方法是在同一探针台上增加有源阻抗调谐器集成。这两个系统是业界明确设计的150 mm和200 mm探针系统,可结合毫米波,太赫兹(THz)和自动阻抗调谐器应用的要求,以的测量方向性提供准确的测试。
TS150-AIT & TS200-THZ细节优势
MPI TS200-THZ手动探针系统具有的功能。这些高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触,分离(300µm)和加载(3mm)的三个离线位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与焊盘对齐。
特点与优势
气浮式移动系统
MPI的气垫载物台设计,具有简单的单手定标器控制,为快速的XY导航和晶圆装载提供了的操作便利性,同时搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯,不影响精确定位能力。
卡盘Z调整
TS150-TH有10mm的精细卡盘Z调整,旨在灵活地集成不同的扩频器,例如Rohde&Schwarz,VDI或OML。对于在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案的设置非常有利,可以轻松快速地进行设置。
微型定位器
专用的极刚性探针台板设计可容纳两个东西方向的粗体——东西向配置的下行MP80大面积微选址器。通过将两个南北“电桥”作为标准配置,可以轻松进行四端口RF测量或DC偏置。
MP80-DX
市场上另一个MPI开拓性解决方案——的MP80-DX,具有低至1µm的简单、精确的精确度,是精确且经济高效的多线TRL的理想选择,即多行TRL——毫米波和次太赫兹范围内的RF校准方法。有关更多详细信息,请访问 MPI QAlibria® 软件。
多种卡盘选项
TS200-THZ提供多种卡盘选件,以满足不同的预算和应用要求,例如MPI:带BNC连接器的标准RF卡盘; 专用mmW卡盘,内置具有高导热率(> 180 W / Km)的特殊陶瓷;甚至 ERS AirCool射频卡盘(从20°C到200°C或更高),带有集成的镀金顶面和小的真空孔。 所有卡盘都有两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘,用于精确的RF校准,尤其是在40 GHz以上的范围内。
多种光学选项
提供专用的MPI光学元件 ,可以选择单管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12,其光学变焦高达12倍,工作距离超过45毫米。由于集成扩频器固有的空间限制,要求与DUT的距离最短,因此这种显微镜的体积小,非常适合RF和mmW应用。
扩频器集成
TS200-THZ集成了全新的扩频器集成设计。为了地减少到DUT的距离并提供的测量方向性,MPI引入了一种新颖的概念,将扩展器悬停在整个200mm晶圆上。新型TS200-THZ探针台的附加关键功能是轻松,便捷和快速地重新配置。