MPI手动晶圆级太赫兹探针台系统

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八帆仪器设备(上海)有限公司创建于2017年,是集测试测量、研发、生产、销售、服务为一体的高科技公司,亚太区总部位于中国上海。并在北京设立办事处。 八帆仪器设备(上海)有限公司致力于代理和应用进成熟的测试测量仪器及技术,应用于材料,物理,光学,化学,生物等领域。同时与国内外研发机构合作研究开发高精密测试测量技术及设备定制。 有各大国际品牌机构的技术支持,汇集有行业的精英技术团队,负责产品及方案设计、生产制造、售前售后服务、技术支持和应用培训等等。公司的业务领域广泛,但服务宗旨恒一,即不断的改善管理、坚持服务质量和真诚周到服务。 有广大用户的支持,我们相信八帆仪器设备(上海)有限公司一定能不断为大家提供有高价值的产品。

详细信息

TS150-AIT & TS200-THZ

TS150-AIT和TS200-THZ探针系统专为新兴的THz应用而设计,例如高速5G通信,卫星,非侵入性光谱,医疗保健设备以及短距离汽车雷达等,其方法是在同一探针台上增加有源阻抗调谐器集成。这两个系统是业界明确设计的150 mm和200 mm探针系统,可结合毫米波,太赫兹(THz)和自动阻抗调谐器应用的要求,以的测量方向性提供准确的测试。

  • 任意可达1.5THz的带宽、差分或宽带扩频器和/或自动阻抗调谐器的无缝集成;
  • 扩展器/调谐器集成的新颖设计,可实现的测量动态;
  • 的机械稳定性和可重复性,结合方便和安全的操作。

TS150-AIT & TS200-THZ细节优势

MPI TS200-THZ手动探针系统具有的功能。这些高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触,分离(300µm)和加载(3mm)的三个离线位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与焊盘对齐。

特点与优势

气浮式移动系统

MPI的气垫载物台设计,具有简单的单手定标器控制,为快速的XY导航和晶圆装载提供了的操作便利性,同时搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯,不影响精确定位能力。

卡盘Z调整

TS150-TH有10mm的精细卡盘Z调整,旨在灵活地集成不同的扩频器,例如Rohde&Schwarz,VDI或OML。对于在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案的设置非常有利,可以轻松快速地进行设置。

微型定位器

专用的极刚性探针台板设计可容纳两个东西方向的粗体——东西向配置的下行MP80大面积微选址器。通过将两个南北“电桥”作为标准配置,可以轻松进行四端口RF测量或DC偏置。

MP80-DX

市场上另一个MPI开拓性解决方案——的MP80-DX,具有低至1µm的简单、精确的精确度,是精确且经济高效的多线TRL的理想选择,即多行TRL——毫米波和次太赫兹范围内的RF校准方法。有关更多详细信息,请访问 MPI QAlibria® 软件。

多种卡盘选项

TS200-THZ提供多种卡盘选件,以满足不同的预算和应用要求,例如MPI:带BNC连接器的标准RF卡盘; 专用mmW卡盘,内置具有高导热率(> 180 W / Km)的特殊陶瓷;甚至 ERS AirCool射频卡盘(从20°C到200°C或更高),带有集成的镀金顶面和小的真空孔。 所有卡盘都有两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘,用于精确的RF校准,尤其是在40 GHz以上的范围内。

多种光学选项

提供专用的MPI光学元件 ,可以选择单管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12,其光学变焦高达12倍,工作距离超过45毫米。由于集成扩频器固有的空间限制,要求与DUT的距离最短,因此这种显微镜的体积小,非常适合RF和mmW应用。

扩频器集成

TS200-THZ集成了全新的扩频器集成设计。为了地减少到DUT的距离并提供的测量方向性,MPI引入了一种新颖的概念,将扩展器悬停在整个200mm晶圆上。新型TS200-THZ探针台的附加关键功能是轻松,便捷和快速地重新配置。

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