热式质量流量控制器GF100 系列EtherCAT

纯度气路。超高精确，无污染的控制。

        现今许多高级电子元器件的加工工艺都需要能够对昂贵的超纯气体和液态前体进行相当准确并且具有高度可重现性的测定和控制。因此，布鲁克斯仪器推出了自家的革命性金属密封热质量流量控制器和仪表来满足上述需求。该产品将稳定性和准确性超高的测量传感器与快速、精准的控制阀以及功能强大的电子元件相结合共同实现了精准的化学品控制。高完整性（无泄漏）的超高纯度全金属流路可确保过程化学品纯度，该流路专为防止外部污染（如湿气和氧气）腐蚀过程媒介而设计。

关键应用

• 硅材料半导体器件制造工艺 – 蚀刻、剥膜、CVD、ALD、PVD、Epi、扩散、植入和 RTP

• 化合物半导体器件加工工艺 – MOCVD

• 精密的表面涂层

• 分析系统

• 真空处理应用

选择自身工艺需求的质量流量设备。

速、准的MFC

加强了拥有EtherCAT®的速度

型号 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126

针对半导体工艺的性能

• 嵌入式诊断利用实时以太网数据采集能力

• 超稳定流量传感器（每年≤设定值0.15%的漂移）使低流量更精准，同时减少维修的需求

• 改进的阀门关闭（≤bin范围的0.15%）减少阀门内漏，从而改善片晶圆效应

• 新增强的抗压力瞬时波动在持续流体传输中降低了串扰流敏感度

特点

• 每年<满量程的±0.15%的长期零点稳定性

• 响应稳定时间: 300毫秒 - <1秒

• 流量可达到300 slpm

• 全金属密封的流体通路：可选5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度

• 抗腐蚀的哈氏合金升温传感器在温度升高时改善了测量的重复性

• MultiFloTM 气体和量程的可编程性—一台表，几千种气体和量程的组合，无需把MFC从管路上拆除，也不会影响精度

• 方便的用户显示和独立的诊断/服务端口可帮助仪表安装，监测和故障排查

• GF120 安全传输系统(SDS®)是布鲁克斯的低压降质量流量控制计，用于离子注入和刻蚀工艺的负压安全传输系统的气体传输 

优势

• 超常的性能
  快速反应时间改进应用效率
  

• 灵活的拓扑
  

       几乎无限的网络拓扑可能

• 简单、坚固

        配置，诊断以及维护

• 负担能力
  

        标准的以太网端口

应用

• 半导体刻蚀设备

• 薄膜化学气相沉积系统 (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)

• 物理气相沉积 (PVD) 系统

• 外延工艺系统

型号

规格

性能

机械

等级

诊断和显示

电气