适用于红外波段的高精度硅微透镜阵列

微透镜阵列常见的生产材质主要有硅、熔融石英和塑料。熔融石英聚焦较好的透过率和耐受性，在适用波段上，根据材质的不同，分为紫外，可见光波段和红外熔融石英。而硅材料，在红外波段可工作的波长范围比熔融石英更广，也是常见、的红外波段Si复眼透镜生产材质。塑料材质，因为工艺上的差异，更适合于微透镜阵列的批量生产，在成本控制上性价比跟高。

我司现隆重推出硅微透镜阵列，以满足可在红外波段的应用需求。现阶段的Si微透镜阵列虽然刚起步，但亦有数十个标准品型号。口径囊括常见的尺寸，在100-1500μm之间。因为硅制的红外微透镜阵列，材质折射率比较大，所以，相同的工艺下，我们不仅达成了与熔融石英微透镜阵列一致的加工精度，同时，在微透镜阵列的焦距上有了更大的可选择性。

与微透镜阵列系类似，红外微透镜阵列常见的应用有：准直、匀化、波前传感等等。其主要的应用，是在传感器中，提高仪器的信息收集效率和探测精度。

考虑到客户的应用场景和实际需求，现阶段的口径只有方形。当然，如果客户有其他口径形状的红外微透镜阵列需求，亦可定制加工。口径上，主要有常见的100、200、250、500、800、1000、1100和1500μm等。硅材质红外波段的微透镜阵列在厚度上，可以比熔融石英的更薄，做到0.25mm。镜片尺寸上，依旧以常见的10*10mm为中心。

随着客户的需求的不断发展，我司Si微透镜阵列也会不断发展提高。目前Si微透镜阵列的加工精度与熔融石英的微透镜阵列一致，定制加工的能力上也是。但是因为Si复眼透镜的材质的折射率更高，所以客户定制的时候，焦距可以放的更大，可选择性更广。

常规定制加工限制：

-ROC误差：±5%

-表面粗糙度：<30nm

-Pitch误差：小于±1μm

-子单元之间存在2-4μm的间隙

常规定制加工限制：

-子单元（微透镜）的pitch值介于15-1500μm

-子单元的矢高（穹顶到衬底的高度sag）介于0.7-50μm

-只能加工单片平凸结构，双凸加工不了

现有硅微透镜阵列标准品型号：