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>SLC-24系列直线位移台<
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详细信息
| SLC-24系列位移台都是24mm宽，10.5mm高，刚性比SLC-17系列还要好，高的直线度允许实现的位移精度。使用该系列的位移器，可实现大行程范围的同时，实现纳米级的位移精度。 |
| 参数 | SLC-2430 | SLC-2445 | SLC-2460 | SLC-2475 | SLC-2490 |
| 行程 | 16mm | 29mm | 35mm | 49mm | 63mm |
| 开环 分辨率 | < 1 nm | ||||
| 速度 | > 20 mm/s | ||||
| 垂直 负载 | 20N | 30N | |||
| 体积 | 30 x 24 x 10.5 mm3 | 45 x 24 x 10.5 mm3 | 60 x 24 x 10.5mm3 | 75 x 24 x 10.5mm3 | 90 x 24 x 10.5mm3 |
| 重量 | 36g | 54g | 72g | 90g | 108g |
| 可选闭环传感器S | |||||
| 传感器 分辨率 | 1nm | ||||
| 重复 精度 | ±30nm | ± 45nm | ± 60nm | ± 75nm | ± 90nm |
| 可选闭环传感器L | |||||
| 传感器 分辨率 | 4nm (MCS2) 50 nm (HCU) | ||||
| 重复 精度 | ±60nm(MCS2) ± 1 µm(HCU) | ±90nm(MCS2) ± 1 µm(HCU) | ±120nm(MCS2) ± 1µm(HCU) | ±150nm(MCS2) ± 1µm(HCU) | ±180nm(MCS2) ± 1µm(HCU) |
| 参数 | SLC-24105 | SLC-24120 | SLC-24150 | SLC-24180 |
| 行程 | 69mm | 83mm | 103mm | 123mm |
| 闭环 分辨率 | < 1 nm | |||
| 速度 | > 20 mm/s | |||
| 垂直 负载 | 30N | |||
| 体积 | 105x 24 x 10.5 mm3 | 120 x 24 x 10.5 mm3 | 150 x 24 x 10.5 mm3 | 180 x 24 x 10.5mm3 |
| 重量 | 126g | 144g | 180g | 216g |
| 可选闭环传感器S | ||||
| 传感器 分辨率 | 1nm | |||
| 重复 精度 | ±105nm | ± 120nm | ± 150nm | ± 180nm |
| 可选闭环传感器L | ||||
| 传感器 分辨率 | 4nm (MCS2) 50 nm (HCU) | |||
| 重复 精度 | ±210nm(MCS2) ± 1 µm(H CU) | ±240nm(MCS2) ± 1 µm(H CU) | ±300nm(MCS2) ± 1 µm(H CU) | ±360nm (MCS2) ± 1 µm (H CU) |
