德国斯派克分析仪器推出的 SPECTRO MIDEX M多功能X射线荧光光谱仪（XRMF）适合于微小样品及微小区域的元素分析，分析样品的形态可以为固体或液体，分析过程对样品没有损害。
仪器的样品台采用XYZ三轴步进马达驱动，可对大到250*250mm(10*10"样品的表面进行线性扫描和元素分布分析。专门设计的样品室，可适用于超大尺寸的样品分析，可在三个不同的方向观测样品。样品台可以整体拉出，便于调节样品位置。仪器内设有大倍率变焦双摄像系统，可准确地确定测量位置。
　　仪器可以锁定样品的某个点或表面某个区域，然后进行扫描分析。SPECTRO MIDEX M配有的软件可评估测量点，并将所选定样品区域内的元素成分以图表形式显示出来。
　　SPECTRO MIDEX M 配有高分辨的检测系统，并采用点对点激发，确保了仪器优异的分析性能。通过程序控制的四种准直系统,SPECTRO MIDEX M可根据不同分析要求，来调节元素分布分析的分辨率。SPECTRO MIDEX M在单位时间内接收的荧光脉冲数量比传统技术多2倍，这样就可以在短短的几个小时内完成深入细致的元素分布分析。对于钠等轻元素的分析，可采用在分析点充入氦气的方法进行分析。SPECTRO MIDEX M也非常适合于未知样品的点的快速分析，在2分钟内即可完成从钠到铀的全分析。
　　SPECTRO MIDEX M 不仅是生产过程中理想的分析仪器，也适合各种科学研究和实验室分析，它可以分析体积很小的样品、研究材料组成，测定样品表面的元素成分等。

技术规格：
激发源
· Mo靶的X光管
· 风冷
· 达到功率：30W
· 电压：50kV
· 达到电流：0.8mA
· 测量点尺寸（程序控制）：0.1mm,0.3mm,0.5mm,1mm
样品室
· 长：540 mm
· 宽：600 mm
· 高：250 mm
· 双摄像机成像系统
· XYZ三轴步进马达驱动， 达到行程 250*250*150mm（10*10*6"）最小步进（分辨率）2.5μm
· 符合严格的ξ3 RoV(德国X射线标准)辐射防护标准
计算机
· 台式Pentium™计算机
· Windows™操作系统
· 键盘和鼠标
· 显示器
· 打印机
软件
· 菜单式软件，光谱仪参数调整和数据评估及计算，元素成分及分布显示
检测器
· Peltier 冷却的Si漂移半导体计数器
· 以Mn Kα线，在测量计数率为1000 脉冲计数时，能量分辨率为：FWHM<150 eV
· 达到计数率可达100,000 cps
其它规格
· 电压:100 -127或，200-240V,50/60 Hz,16A
· 光谱仪功率：500VA
· 仪器尺寸：
长：612 mm
宽：720 mm
高：790 mm
底座尺寸:
长：612 mm
宽：640 mm
重量：80 kg