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EZ6 EZ6高精密匀胶机
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产品介绍:
名 称:高精密匀胶机
型 号:EZ6
原产地:美国,USA
应 用:EZ6高精密匀胶机在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
产品概述:
EZ6被设计为涂胶处理小碎片至6英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和PLC控制,5寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。EZ6匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备,纳米薄膜研究等相关领域。
EZ6设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,且能够升级自动点胶功能,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。
EZ6性能参数:
l 支持wafer尺寸:1cm-150mm(6"圆晶)
l 速度可调范围:100-10000rpm
l 加速度可调范围:100-30000rpm/s
l 转速分辨率:1rpm
l 转速精度:<±5rpm
l 可编程10组10步程序
l 宽电压输入:AC100-230V
EZ6产品特点:
l 100W 直流无刷电机,PLC 控制
l 5”全彩触摸屏
l 系统中英文可选
l 带一只自动点胶端口,可升级自动点胶功能
l HDPE 内腔,SUS 外壳,耐溶剂PC 透明盖
l 真空互锁及盖子开关互锁安全功能
产品外型尺寸:
358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)