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晶圆x射线晶体定向仪分拣系统
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◇ 自动化的晶圆处理和分类系统（例如：盒到盒）。
◇ 晶体取向和电阻率测量
◇ 晶片的几何特征（缺口位置、缺口深度、缺口开口角度、直径、平面位置和平面长度）的光学测定
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的Omega-scan方法：
◇ 高的精度
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